特种工件镀膜控制系统技术方案

本实用新型专利技术实施例公开了一种特种工件镀膜控制系统，至少包括：主控制单元；90°翻转输送驱动单元，驱动90°翻转装置对工件进行90°翻转；自动抓取移载驱动单元，驱动自动抓取移载装置移动至缓冲传送工位抓取工件；180°翻转驱动单元，对移载至其上的工件进行第一次180°翻面或第二次180°翻面；自动控制系统，控制四工位平移升降装置；真空镀膜控制系统，控制真空镀膜设备对工件进行镀膜。本实用新型专利技术实施例，通过本控制系统，至少可将90°翻转装置、自动抓取移载装置、180°翻转装置、四工位平移升降装置、真空镀膜设备按镀膜工序全自动控制起来，实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。

【技术实现步骤摘要】
特种工件镀膜控制系统
：本技术涉及一种自动化控制系统，尤其是一种在真空环境下对工件正反面全自动化镀膜的控制系统。
技术介绍
：随着科技的进步，对材料的加工处理技术，尤其是表面镀膜技术的要求也越来越高，而国内外的常规镀膜设备的控制系统，其自动化程度较低，在镀膜过程中存在温升高造成工件表面变形的缺陷。
技术实现思路
：为克服现有镀膜设备的控制系统自动化程度较低的问题，本技术实施例提供了一种特种工件镀膜控制系统。一种特种工件镀膜控制系统，至少包括：90°翻转输送驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动90°翻转装置对工件进行90°翻转，并输送至缓冲传送工位；自动抓取移载驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动自动抓取移载装置移动至缓冲传送工位抓取工件，并移载至180°翻转装置；或者驱动自动抓取移载装置移动至组合工位抓取工件，并移载至180°翻转装置；180°翻转驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动180°翻转装置对移载至其上的工件进行第一次180°翻面；或者驱动180°翻转装置对移载至其上的工件进行第二次180°翻面；自动控制系统，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，控制四工位平移升降装置；真空镀膜控制系统，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，控制真空镀膜设备对工件进行镀膜。本技术实施例，通过本控制系统，至少可将90°翻转装置、自动抓取移载装置、180°翻转装置、四工位平移升降装置、真空镀膜设备按镀膜工序全自动控制起来，实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。附图说明：为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例的特种工件镀膜设备及辅助设备的示例性布局示意图；图2为本技术实施例的特种工件镀膜控制系统的示例性原理框图；图3为本技术实施例的90°翻转装置的结构示意图；图4为本技术实施例的180°翻转装置的结构示意图；图5为本技术实施例的自动抓取移载装置在组合工位与180°翻转装置间来回移动的结构示意图；图6为图5的左视局部示意图；图7为本技术实施例的自动抓取移载装置的抓取平台与夹具的安装结构示意图；图8为本技术实施例的四工位平移升降装置的结构示意图；图9为本技术实施例的特种工件辅助镀膜的自动控制系统的示例性原理框图；图10为本技术实施例的真空镀膜设备的结构示意图；图11为本技术实施例的特种工件真空镀膜控制系统的示例性原理框图；图12为本技术实施例的特种工件正面朝上并由第一基片架承载的结构爆炸图；图13为本技术实施例的特种工件背面朝上并由第二基片架承载的结构爆炸图。具体实施方式：为了使本技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。当本技术实施例提及“第一”、“第二”等序数词时，除非根据上下文其确实表达顺序之意，应当理解为仅仅是起区分之用。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本技术实施例提供了一种特种工件镀膜方法，结合图1、图10所示，至少包括如下步骤：工件正面上料后，以反面状态送入真空镀膜设备1的工艺室12；在真空镀膜设备1的工艺室12对工件背面进行往复式反镀膜；在真空镀膜设备1的静放室13对完成背面镀膜的工件进行反静放处理；工件退出真空镀膜设备1后，以正面状态再次送入真空镀膜设备1的工艺室12；在真空镀膜设备1的工艺室12对工件正面进行往复式正镀膜；在真空镀膜设备1的静放室13对完成正面镀膜的工件进行正静放处理；将工件输送至卸料工位41进行工件正面卸料。本技术实施例，可使工件依次经过正面上料、反镀膜、反静放、正镀膜、正静放、正面卸料的工序，实现工件正面上料、正面卸料的镀膜全自动化处理，自动化程度高。应用本技术对工件镀膜后，工件表面膜厚满足大于2um的要求，膜层均匀性满足小于5％的要求，实测均匀性数据可达到1.06～1.42％，镀膜后工件的绝缘性能可达到5.0E10欧姆以上。应用本技术对工件镀膜，在满足上述工艺要求的基础上，可使日产能大于2片，且在镀膜过程中能将温升控制在70℃以内，最终平衡在65℃，不会因温升造成工件表面出现形变。作为本实施例的等同实施方式，本技术也可先正镀膜、正静放，再反镀膜、反静放，正镀膜或反镀膜的先后选择，可依据实际需求而定，均属本申请所保护的范围。同样的，作为本实施例的等同实施方式，本技术也可背面上料、背面卸料，正面上料或背面上料的先后选择，也是可依据实际需求而定的，均属本申请所保护的范围。进一步地，作为本实施方式的一种优选方式而非限定，步骤“工件正面上料后，以反面状态送入真空镀膜设备1的工艺室12”包括：工件正面上料后，对工件进行第一次180°翻面并传送至组合工位35的第二基片架上；工件正面上料，是指工件以正面朝上的状态输送进来；将工件和第二基片架从组合工位35正向传送至自动控制生产线2；将工件和第二基片架从自动控制生产线2正向输出至真空镀膜设备1的工艺室12。再进一步地，作为本实施方式的一种优选方式而非限定，工件正面上料后、第一次180°翻面前，还包括：以竖直状态对工件进行清洗；对工件进行90°翻转，使清洗后工件从竖直状态翻转至水平的正面状态，该正面状态指工件正面朝上的状态；将工件输送至缓冲传送工位33。更进一步地，作为本实施方式的一种优选方式而非限定，步骤“工件退出真空镀膜设备1后，以正面状态再次送入真空镀膜设备1的工艺室12”包括：将工件和第二基片架从真空镀膜设备1反向输出至自动控制生产线2；将工件和第二基片架从自动控制生产线2反向输出至组合工位35；对工件进行第二次180°翻面，并将第二基片架更换为第一基片架；将工件和第一基片架从组合工位35正向传送至自动控制生产线2；将工件和第一基片架从自动控制生产线2正向输出至真空镀膜设备1的工艺室12。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种特种工件镀膜控制系统，其特征在于，至少包括：/n主控制单元；/n90°翻转输送驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动90°翻转装置对工件进行90°翻转，并输送至缓冲传送工位；/n自动抓取移载驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动自动抓取移载装置移动至缓冲传送工位抓取工件，并移载至180°翻转装置；或者驱动自动抓取移载装置移动至组合工位抓取工件，并移载至180°翻转装置；/n180°翻转驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动180°翻转装置对移载至其上的工件进行第一次180°翻面；或者驱动180°翻转装置对移载至其上的工件进行第二次180°翻面；/n自动控制系统，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，控制四工位平移升降装置；/n真空镀膜控制系统，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，控制真空镀膜设备对工件进行镀膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种特种工件镀膜控制系统，其特征在于，至少包括：
主控制单元；
90°翻转输送驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动90°翻转装置对工件进行90°翻转，并输送至缓冲传送工位；
自动抓取移载驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动自动抓取移载装置移动至缓冲传送工位抓取工件，并移载至180°翻转装置；或者驱动自动抓取移载装置移动至组合工位抓取工件，并移载至180°翻转装置；
180°翻转驱动单元，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，驱动180°翻转装置对移载至其上的工件进行第一次180°翻面；或者驱动180°翻转装置对移载至其上的工件进行第二次180°翻面；
自动控制系统，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，控制四工位平移升降装置；
真空镀膜控制系统，与主控制单元电连接，用于在主控制单元的控制下，控制真空镀膜设备对工件进行镀膜。


2.如权利要求1所述的特种工件镀膜控制系统，其特征在于，自动控制系统至少包括：
第一控制单元；
工作状态接收单元，与第一控制单元电连接，用于接收工作状态信号，并发送至第一控制单元；
行走驱动单元，与第一控制单元电连接，用于根据工作状态信号，在第一控制单元的控制下，驱动行走平台沿下平台前后移动至指定位置；
升降驱动单元，与第一控制单元电连接，用于根据工作状态信号，在第一控制单元的控制下，驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向上升起或向下复位；
传动驱动单元，与第一控制单元电连接，用于根据工作状态信号，在第一控制单元的控制下，驱动各传动平台正向或反向传动。


3.如权利要求1或2所述的特种工件镀膜控制系统，其特征在于，真空镀膜控制系统至少包括：
第二控制单元；
翻板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动翻板阀向上翻转，以打开进出片室，供工件送入；或者驱动翻板阀向下翻转，以在工件送入后关闭进出片室，隔断外部环境；
传送驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动传送机构运转，以使工件可被传送出入进出片室、工艺室、静放室、在第一工艺室来回往复式移动、以及在第二工艺室来回往复式移动；
第一泵组驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第一泵组启动，以使进出片室进入抽真空状态；
第一插板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第一插板阀的开启或关闭，以使进出片室与工艺室连通或隔断，供工件送入第一工艺室和/或第二工艺室；
第二泵组驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第二泵组启动，以使第一工艺室和第二工艺室进入抽真空镀膜状态；
离子源启动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源，开始离子源联动；
中频电源启动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源，开始中频联动；
第二插板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第二插板阀的开启或关闭，以使工艺室与静放室连通或隔断。


4.如权利要求3所述的特种工件镀膜控制系统，其特征在于，90°翻转装置包括：
支撑底架，
翻转调节夹紧组件，设于支撑底架上，可在夹紧完成清洗并以竖直状态...

【专利技术属性】
技术研发人员：李星，钟玉盛，姜翠宁，
申请(专利权)人：广东生波尔光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44