一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩制造技术

本实用新型专利技术提出了一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩，包括透明真空罩和透明防护罩，透明防护罩设置在透明真空罩内，且透明真空罩内壁和透明防护罩外壁贴合设置，透明防护罩采用无色透明的塑料材料制成。本实用新型专利技术可有效避免透明真空室污染，而且透明防护罩取材方便，成本低，可即用即弃，从而避免化学清洁对人体的影响以及对设备的损伤，提高设备使用寿命。命。命。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，具体涉及一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩。

技术介绍

[0002]薄膜电性能测试前对薄膜镀膜是试验前一个重要前处理环节，通常采用真空镀膜机镀膜。镀膜机由扩散泵、回转泵(真空泵)、控制器和真空室等组成，测试过程中需要通过透明真空罩观察镀膜过程，由于镀膜时金属蒸汽扩散，在真空室透明真空罩内壁形成镀层，难以清洁，影响试验观察效果，而且清洁透明真空罩镀层需使用化学试剂，化学试剂易挥发，容易吸入人体，危害健康，同时化学试剂有一定腐蚀性，对设备造成的损害，影响设备使用寿命，

技术实现思路

[0003]为了解决
技术介绍
存在的技术问题，本技术提出的一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩。
[0004]本技术提出的一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩，包括透明真空罩和透明防护罩，透明防护罩设置在透明真空罩内，且透明真空罩内壁和透明防护罩外壁贴合设置，透明防护罩采用无色透明的塑料材料制成。
[0005]优选地，透明防护罩顶部开设有开口。
[0006]优选地，透明防护罩采用无色透明的PET材料制成。
[0007]优选地，透明防护罩的厚度为100～200um。
[0008]优选地，还包括防爆透明罩，透明真空罩设置在透明防护罩内。
[0009]本技术提出的一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩，具有以下优点：
[0010](1)通过套设于透明真空罩内的透明防护罩可有效避免透明真空室污染，而且易于安装和拆卸，不会影响镀膜试验过程中的观察，提高试验成功率。
[0011](2)透明防护罩采用无色透明的塑料材料制成，取材方便，成本低，可即用即弃，从而避免化学清洁过程中化学试剂的挥发对人体的影响以及化学试剂对设备的损伤，提高设备使用寿命。
附图说明
[0012]图1为本技术提出的一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩的结构示意图。
具体实施方式
[0013]参照图1，本技术提出的一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩，包括透明真空罩2和透明防护罩3，透明防护罩3设置在透明真空罩2内，且透明真空罩2内壁和透明防护罩3外壁贴合设置，透明防护罩3采用无色透明的塑料材料制成。
[0014]本技术通过套设于透明真空罩2内的透明防护罩3可有效避免透明真空室污染，而且易于安装和拆卸，不会影响镀膜试验过程中的观察，并且透明防护罩3采用无色透明的塑料材料制成，取材方便，成本低，可即用即弃，从而避免化学清洁过程中对设备的损伤和对人体的影响。
[0015]由于在镀膜过程中，金属蒸汽流向下远动，为了在避免金属蒸汽沉积在透明真空罩2的内璧上的同时尽可能降低透明防护罩3的生产成本，避免浪费，在本实施方式中，透明防护罩3顶部开设有开口。
[0016]在一个具体实施方式中，透明真空罩2包括两端开口的筒罩部和盖合筒状部顶端开口的半圆罩部，筒罩部和半圆罩部一体成型，透明防护罩3为筒罩部相似的筒状体。
[0017]为了在保证优异的观察效果的同时降低透明防护罩3的生产成本，在本实施方式中，透明防护罩3采用无色透明的PET材料制成。
[0018]为了方便使用，在本实施方式中，透明防护罩3的厚度为100～200um。
[0019]为了提高使用的安全性，在本实施方式中，还包括防爆透明罩1，透明真空罩2设置在透明防护罩3内。
[0020]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机真空室免清洁防护罩，其特征在于，包括透明真空罩(2)和透明防护罩(3)，透明防护罩(3)设置在透明真空罩(2)内，且透明真空罩(2)内壁和透明防护罩(3)外壁贴合设置，透明防护罩(3)采用无色透明的塑料材料制成。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机真空室免清洁防护罩，其特征在于，透明防护罩(3)顶部开设有开口。3.根据权利要求1或2...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海清，赵芬娜，吴朋川，袁少山，
申请(专利权)人：安徽国风塑业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：