【技术实现步骤摘要】
一种用于旋转阴极的磁棒
本技术涉及真空镀膜领域，具体涉及一种用于旋转阴极的磁棒。
技术介绍
真空镀膜技术，是通过荷能粒子轰击靶材，靶材上逃逸出的粒子附在基板上，从而形成镀膜，现有的镀膜技术主要分为平板阴极和旋转阴极，旋转阴极相对于平板阴极，具有很大的优势，如靶材的利用率得到提升，并且工艺稳定性得到提升。但是现有的旋转阴极一般是将磁体安装在一中空管上，通过螺钉安装，螺钉一般贯穿中空管，方便安装，但是会对管内水流产生阻碍，如使用螺钉过细，在长时间水流压力下，经常会弯折，所以一般采用的螺钉半径不小，达到中空管半径的三分之一，所以阻碍比较明显，管内水流速度难以提升，导致整体的冷却水更换速度不够快，冷却效果不太理想。
技术实现思路
本技术的一个目的是解决至少上述问题，并提供至少后面将说明的优点。本技术的目的在于提供一种用于旋转阴极的磁棒，为解决现有旋转阴极磁棒在使用中，冷却水在其管芯中流速较慢的缺陷。为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了一种用于旋转阴极的磁棒，包括芯管和底座，所述的底座...
【技术保护点】
1.一种用于旋转阴极的磁棒，其特征在于，包括芯管和底座，所述的底座呈平板状，通过螺钉安装在芯管上，底座的延伸方向与芯管一致，所述螺钉贯穿芯管与底座连接，所述螺钉的螺杆位于芯管管内的部位布置有一排通水孔，所述通水孔的延伸方向垂直于螺杆，通水孔的排列方向与螺杆的延伸方向一致，所述芯管的内壁上设置有螺旋状的流水槽，所述底座上安装有若干个磁钢组，所述磁钢组沿底座的延伸方向排列，磁钢组包括中磁钢，以及分别位于中磁钢两侧的两个边磁钢，边磁钢和中磁钢之间设置有隔条。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于旋转阴极的磁棒，其特征在于，包括芯管和底座，所述的底座呈平板状，通过螺钉安装在芯管上，底座的延伸方向与芯管一致，所述螺钉贯穿芯管与底座连接，所述螺钉的螺杆位于芯管管内的部位布置有一排通水孔，所述通水孔的延伸方向垂直于螺杆，通水孔的排列方向与螺杆的延伸方向一致，所述芯管的内壁上设置有螺旋状的流水槽，所述底座上安装有若干个磁钢组，所述磁钢组沿底座的延伸方向排列，磁钢组包括中磁钢，以及分别位于中磁钢两侧的两个边磁钢，边磁钢和中磁钢之间设置有隔条。
2.如权利要求1所述的用于旋转阴极的磁棒，其特征在于，所述螺钉的螺帽上设置有指向标识，指向标识的延伸方向平行于通水孔的延伸方向。
3....
【专利技术属性】
技术研发人员：李忠，
申请(专利权)人：成都齐荣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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