一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，包括箱体，所述箱体内底部固定连接有四个支撑杆，四个所述支撑杆远离箱体内底部的一端共同固定连接有放置板，所述箱体上设有冷却机构，所述冷却机构包括固定连接在箱体内底部的水箱与水泵，所述箱体内壁固定连接有水冷管与换热器，所述水冷管与换热器连通，所述水箱通过第一连接管与水冷管连通，所述水泵的进水端通过第三连接管与水箱连通。本实用新型专利技术取代了传统的冷却方式，能够直接对镀膜机腔体内的空气进行冷却，大大提高了冷却效率，还能够直接对产品本身进行散热，同时还能够加速箱体内的空气流通，进一步提高冷却效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置
本技术涉及冷却装置
，尤其涉及一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作，目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来冷却，这种结构，冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触，还需要通过降低镀膜机外壳的温度来间接降低镀膜机腔体内的温度，冷却速度慢，冷却不及时，更无法直接有效的对镀膜机内的加工产品进行冷却，冷却效率低下，所以，需要设计一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种用于超本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内底部固定连接有四个支撑杆(11)，四个所述支撑杆(11)远离箱体(1)内底部的一端共同固定连接有放置板(12)，所述箱体(1)上设有冷却机构，所述冷却机构包括固定连接在箱体(1)内底部的水箱(2)与水泵(9)，所述箱体(1)内壁固定连接有水冷管(4)与换热器(14)，所述水冷管(4)与换热器(14)连通，所述水箱(2)通过第一连接管(3)与水冷管(4)连通，所述水泵(9)的进水端通过第三连接管(16)与水箱(2)连通，所述水泵(9)的出水端通过第二连接管(15)与换热器(14)连通，所述箱体(1)上设有辅...

【技术特征摘要】
1.一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内底部固定连接有四个支撑杆(11)，四个所述支撑杆(11)远离箱体(1)内底部的一端共同固定连接有放置板(12)，所述箱体(1)上设有冷却机构，所述冷却机构包括固定连接在箱体(1)内底部的水箱(2)与水泵(9)，所述箱体(1)内壁固定连接有水冷管(4)与换热器(14)，所述水冷管(4)与换热器(14)连通，所述水箱(2)通过第一连接管(3)与水冷管(4)连通，所述水泵(9)的进水端通过第三连接管(16)与水箱(2)连通，所述水泵(9)的出水端通过第二连接管(15)与换热器(14)连通，所述箱体(1)上设有辅助散热机构。


2.根据权利要求1所述的一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，其特征在于，所述辅助散热机构包括固定连接在水箱(2)上壁的散热风扇(5)，所述散热风扇(5)位于放置板(12)的正下方，所述放置板(12)侧壁等间距贯...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾玉昌，
申请(专利权)人：青岛松辉光电有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37