一种锂离子电池基材表面镀膜机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种锂离子电池基材表面镀膜机构，包括真空箱体、升降驱动件、溅射镀膜装置，溅射镀膜装置包括支撑连接板、屏蔽罩和阴极结构，阴极结构固定连接在屏蔽罩内，支撑连接板的下方固定连接有遮挡板，遮挡板上均匀开设有多个矩形孔；水冷装置的底端与阴极结构对应，本实用新型专利技术通过设置屏蔽罩阻挡靶材向周围溅射，同时保证阴极溅射稳定和膜层厚度一致性较好，并通过设置在靶材与基材之间的遮挡板，使得通过矩形孔溅射到基材上形成的膜层形状规则，并且镀膜层宽度与矩形孔宽度相同，每条镀膜层之间均有间隙，方便后续切割和连接电极线；并且可以通过水冷装置对阴极结构进行降温，提高使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种锂离子电池基材表面镀膜机构
本技术涉及锂离子电池制造
，更具体的说是涉及一种锂离子电池基材表面镀膜机构。
技术介绍
在真空条件下，用带有正电荷的粒子轰击带有负电荷的阴极靶材表面，使靶材表面溅射出来原子或分子，这些从靶材表面溅射出的粒子沉积在基板上形成薄膜，这种过程就是溅射镀膜，溅射镀膜装置通常包括一个真空腔体，在腔体内设有与阳极电源电连接的阳极以及与阴极电源电连接的阴极、设置在阴极下方的阴极靶材、由外部传动机构驱动的并正对阴极靶材设置的基板、向真空腔体内供应工艺气体的供气系统，供气系统将气源经管道通过供气通道导入真空腔体内，阳极吸收真空腔体内的工艺气体产生的带负电荷的粒子，工艺气体产生的带正电荷的粒子向阴极靶材运动并轰击靶材表面，使得靶材表面溅射出原子或分子，这些粒子沉积在基板上形成薄膜。因此，如何提供一种锂离子电池基材表面镀膜机构，是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一，提供了一种锂离子电池基材表面镀膜机构。为了实现上述目的，本技术采本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种锂离子电池基材表面镀膜机构，用于对传动机构驱动的基材在真空条件下对表面分别镀铝膜以及铜膜，其特征在于，包括：/n真空箱体(1)；/n升降驱动件(2)，所述升降驱动件(2)设置在所述真空箱体(1)的外部顶端，其驱动杆贯穿所述真空箱体(1)的顶板与内部的溅射镀膜装置固定连接；/n溅射镀膜装置，所述溅射镀膜装置包括支撑连接板(3)、屏蔽罩(4)和阴极结构(5)，所述阴极结构(5)固定连接在所述屏蔽罩(4)内，且所述阴极结构(5)的底部设有阴极靶材，所述屏蔽罩(4)的顶部与所述支撑连接板(3)通过水冷连接件(9)固定连接，所述支撑连接板(3)的下方固定连接有遮挡板(6)，所述遮挡板(6)上均匀...

【技术特征摘要】
1.一种锂离子电池基材表面镀膜机构，用于对传动机构驱动的基材在真空条件下对表面分别镀铝膜以及铜膜，其特征在于，包括：
真空箱体(1)；
升降驱动件(2)，所述升降驱动件(2)设置在所述真空箱体(1)的外部顶端，其驱动杆贯穿所述真空箱体(1)的顶板与内部的溅射镀膜装置固定连接；
溅射镀膜装置，所述溅射镀膜装置包括支撑连接板(3)、屏蔽罩(4)和阴极结构(5)，所述阴极结构(5)固定连接在所述屏蔽罩(4)内，且所述阴极结构(5)的底部设有阴极靶材，所述屏蔽罩(4)的顶部与所述支撑连接板(3)通过水冷连接件(9)固定连接，所述支撑连接板(3)的下方固定连接有遮挡板(6)，所述遮挡板(6)上均匀开设有多个矩形孔；
水冷装置，所述水冷装置设置在所述真空箱体(1)中，包括水冷软管(7)、水冷接头(8)和所述水冷连接件，所述水冷连接件(9)为贯穿所述支撑连接板(3)的管状...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔岸，张如灏，王振东，王宇，刘立源，
申请(专利权)人：吉林大学，沈阳镨和真空电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22