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本实用新型公开了一种锂离子电池基材表面镀膜机构，包括真空箱体、升降驱动件、溅射镀膜装置，溅射镀膜装置包括支撑连接板、屏蔽罩和阴极结构，阴极结构固定连接在屏蔽罩内，支撑连接板的下方固定连接有遮挡板，遮挡板上均匀开设有多个矩形孔；水冷装置的底端...
该专利属于吉林大学;沈阳镨和真空电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学;沈阳镨和真空电子设备有限公司授权不得商用。

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