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本实用新型公开了一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，包括箱体，所述箱体内底部固定连接有四个支撑杆，四个所述支撑杆远离箱体内底部的一端共同固定连接有放置板，所述箱体上设有冷却机构，所述冷却机构包括固定连接在箱体内底部的水箱与水泵，所述箱...
该专利属于青岛松辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛松辉光电有限公司授权不得商用。

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