【技术实现步骤摘要】
一种内镜可调节观察窗
[0001]本技术涉及真空镀膜领域,特别是真空镀膜机上的观察窗,具体涉及一种内镜可调节观察窗。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]现有的磁控溅射真空镀膜机,如仅仅设置一密封玻璃,加工过程中,溅射出的镀膜物质会附着在密封玻璃上,在一段时间后,密封玻璃即会变得模糊,需要更换密封玻璃,而因为密封玻璃的成本非常高,所以现有在在密封玻璃内侧设置一个防污挡板,该防污挡板上设置一个观察孔,只有在需要查看时,才选择防污板,将观察孔对准溅射位置,而大部分时间,则将观察孔,远离溅射位置,保证了密封玻璃上很少被镀膜物质附着,这样大大降低密封玻璃更换的频率,如果仅仅这样,密封玻璃的使用时间还是不够长,在使用中,还是要被溅射出的镀膜物质附着,所以一般还会在密封玻璃和防污板之间还设置一个防污玻璃,因为防污玻璃在真空内,所 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种内镜可调节观察窗,其特征在于,所述观察窗安装在镀膜机的机箱上,包括密封玻璃、防污玻璃、防污板和转轴,所述机箱上设置有观察口,所述密封玻璃通过窗盖固定在观察口的外侧,密封玻璃遮盖观察口,密封玻璃与机箱之间设置有第一密封垫,密封玻璃的中心位置设置有穿孔,所述穿孔中穿入密封座,所述密封座包括位于密封玻璃外侧的密封头,以及连接密封头,且穿过穿孔的密封杆,所述密封杆从密封玻璃内侧露出部分设置有螺纹,密封杆上螺纹连接第一螺母,所述密封玻璃被密封头和第一螺母夹持在中间,密封头和密封玻璃之间设置有第一密封圈,第一螺母和密封玻璃之间设置有第二密封圈,密封杆的端头还卡接有旋套,所述旋套与密封杆旋转连接,旋套外周上设置有螺纹,其外部螺纹连接防污玻璃和第二螺母,所述转轴依次贯穿密封头、密封杆、旋套连接位于密封玻璃内侧的防污板,所述防污板上设置有观察孔,所述的转轴与密封头之间设置有第二密封垫,所述旋套的内壁上设置有内卡齿,所述转轴连接防污板的端头直径小于内卡齿的内径,且该...
【专利技术属性】
技术研发人员:李忠,
申请(专利权)人:成都齐荣科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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