配置等离子体群集工具的方法技术

一种配置具有多个模块的特定等离子体群集工具的方法。该方法包括提供一组模块选项定义文件，该组模块选项定义文件包含用于一般等离子体群集工具的一般配置定义。该方法还包括提供一组具体到工具的保护信息，该组具体到工具的保护信息包括具体标识该配置所打算用到的特定等离子体群集工具的数据。该方法还包括提供一组具体到工具的选项规范，该组具体到工具的选项规范指定针对特定等离子体群集工具而指定的选项。该方法另外还包括生成密钥文件，该密钥文件封装被施加在特定等离子体群集工具上的限制，在配置该特定等离子体工具期间，该密钥文件被配置为所需要的文件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于配置具有多个模块的特定等离子体群集工具的方法，包括：提供一组模块选项定义文件，所述一组模块选项定义文件包含用于一般等离子体群集工具的一般配置定义；提供一组具体到工具的保护信息，所述一组具体到工具的保护信息包括具体标识 所述的配置过程所针对的所述特定等离子体群集工具的数据；提供一组具体到工具的选项规范，所述一组具体到工具的选项规范指定针对所述特定等离子体群集工具而指定的选项；以及生成密钥文件，所述密钥文件封装被施加在所述特定等离子体群集工具 上的配置限制，所述密钥文件被配置为在所述配置所述特定等离子体群集工具期间所需要的文件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄忠河，范石全，张震川，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]