温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种配置具有多个模块的特定等离子体群集工具的方法。该方法包括提供一组模块选项定义文件，该组模块选项定义文件包含用于一般等离子体群集工具的一般配置定义。该方法还包括提供一组具体到工具的保护信息，该组具体到工具的保护信息包括具体标识该配置所打算...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。