具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元通过轴封装置带动真空腔体转动。真空腔体包括一盖板及一腔体，其中盖板的一内表面覆盖腔体。至少一扇叶单元及一监控晶圆设置在盖板的内表面，其中监控晶圆位于扇叶单元及盖板之间，并于监控晶圆与扇叶单元之间存在一间隙。一进气管线将一气体吹向盖板的扇叶单元，通过扇叶单元带动气体扩散到反应空间的各个区域，使得气体吹动反应空间内的粉末，以利于在粉末及监控晶圆的表面形成均匀厚度的薄膜。形成均匀厚度的薄膜。形成均匀厚度的薄膜。

【技术实现步骤摘要】
具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置


[0001]本专利技术有关于一种具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置，主要于真空腔体的盖板上设置一扇叶单元，用以带动气体吹动反应空间内的粉末，有利于在粉末及监控晶圆的表面形成均匀厚度的薄膜。

技术介绍

[0002]奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。
[0003]量子点(Quantum Dot)是半导体的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II
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VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。
[0004]量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括：一真空腔体，包括一盖板及一腔体，该盖板的一内表面覆盖该腔体，并在两者间形成一反应空间；至少一扇叶单元，设置在该盖板的该内表面；一轴封装置，连接该真空腔体；一驱动单元，连接该轴封装置，其中该驱动单元通过该轴封装置带动该真空腔体转动；至少一抽气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及至少一进气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体或一气体输送至该反应空间，其中该气体吹向位于该盖板的该内表面的该扇叶单元，并经由该扇叶单元带动该气体以吹动该反应空间内的该粉末。2.根据权利要求1所述的具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括一监控晶圆位于该盖板的该内表面，并位于该扇叶单元及该盖板之间。3.根据权利要求2所述的具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括复数个连接部设置在该盖板的该内表面，该连接部凸出该盖板的该内表面，而该扇叶单元则设置在该连接部上，使得该扇叶单元与该盖板之间形成一间隙。4.根据权利要求2所述的具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该盖板的该内表面包括一凹槽，而该监控晶圆及该扇叶单元则位于该凹槽内。5.根据权利要求4所述的具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该凹槽为圆形波浪状凹槽，该腔体...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，张容华，古家诚，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：发明
国别省市：