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本发明提供一种具有特殊盖板设计的粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元通过轴封装置带动真空腔体转动。真空腔体包括一盖板及一腔体，其中盖板的一内表面覆盖腔体。至少一扇叶单元及一监控晶圆设置在盖板的内表面，...
该专利属于鑫天虹(厦门)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鑫天虹(厦门)科技有限公司授权不得商用。

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