微粒的原子层沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微粒的原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元经由轴封装置连接并驱动真空腔体转动。真空腔体包括一反应空间，用以容纳复数个微粒，其中反应空间为多边形柱状体或圆形波浪状柱状体。一抽气管线及一进气管线流体连接真空腔体，其中进气管线用以将前驱物气体及非反应气体输送至反应空间，配合反应空间的特殊形状，可通过非反应气体有效翻搅反应空间内的微粒，以利于通过原子层沉积制程在微粒的表面形成厚度均匀的薄膜。面形成厚度均匀的薄膜。面形成厚度均匀的薄膜。

【技术实现步骤摘要】
微粒的原子层沉积装置


[0001]本专利技术有关于一种微粒的原子层沉积装置，其中真空腔体的反应空间为多边形柱状体或圆形波浪状柱状体，使得输送至真空腔体的非反应气体可有效翻搅微粒，并有利于在微粒的表面形成厚度均匀的薄膜。

技术介绍

[0002]奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。
[0003]量子点(Quantum Dot)是半导体的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II
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VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。
[0004]量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微粒的原子层沉积装置，其特征在于，包括：一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个微粒，其中该反应空间为一多边形柱状体；一轴封装置；一驱动单元，通过该轴封装置连接该真空腔体，并经由该轴封装置带动该真空腔体转动；至少一抽气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及至少一进气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该微粒。2.根据权利要求1所述的微粒的原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体包括一盖板及一腔体，该盖板的该内表面设置一多边形的凹槽，而该腔体则具有一多边形空间，该盖板的该多边形的凹槽及该腔体的该多边形空间形成该多边形柱状体。3.根据权利要求1所述的微粒的原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将该非反应气体输送至该真空腔体的该反应空间内，以吹动该反应空间内的该微粒。4.根据权利要求3所述的微粒的原子层沉积装置，其特征在于，其中该轴封装置包括一外管体及一内管体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，用以容置该抽气管线、该进气管线及该非反应气体输送管线。5.根据权利要求4所述的微粒的原子层沉积装置，其特征在于，其中部分该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部。6.一种微粒的原子层沉积装...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，张容华，古家诚，郭大豪，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：发明
国别省市：