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本发明提供一种微粒的原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元经由轴封装置连接并驱动真空腔体转动。真空腔体包括一反应空间，用以容纳复数个微粒，其中反应空间为多边形柱状体或圆形波浪状柱状体。一抽气管线及一进气管线...
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