可吹动粉末的原子层沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可吹动粉末的原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元通过轴封装置带动真空腔体转动。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体设置在外管体的容置空间内。至少一抽气管线及至少一进气管线位于内管体内，其中进气管线由内管体延伸置反应空间内，并用以将一非反应气体输送至反应空间，以吹动反应空间内的粉末。

【技术实现步骤摘要】
可吹动粉末的原子层沉积装置
本专利技术有关于一种可吹动粉末的原子层沉积装置，其中至少一进气管线由轴封装置延伸至真空腔体的反应空间内，并用以将一非反应气体输送至反应空间，以吹动反应空间内的粉末。
技术介绍
奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。量子点(QuantumDot)是半导体的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II-VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的尺寸越小则能隙越大，经照射后会发出波长较短的光。例如5到6奈米的量子点会发出橘光或红光，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：/n一真空腔体，包括一反应空间用以容置复数个粉末；/n一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体；/n一驱动单元，通过该轴封装置连接该真空腔体，并经由该轴封装置带动该真空腔体转动；/n至少一抽气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及/n至少一进气管线，由该内管体延伸至该反应空间内，并朝该反应空间的一表面的方向延伸，用以将一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末。/n

【技术特征摘要】
1.一种可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：
一真空腔体，包括一反应空间用以容置复数个粉末；
一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体；
一驱动单元，通过该轴封装置连接该真空腔体，并经由该轴封装置带动该真空腔体转动；
至少一抽气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及
至少一进气管线，由该内管体延伸至该反应空间内，并朝该反应空间的一表面的方向延伸，用以将一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末。


2.根据权利要求1所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该反应空间包括两个底面及至少一侧面，该侧面连接该两个底面，而该进气管线朝该反应空间的该侧面的方向延伸。


3.根据权利要求2所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线，由该内管体延伸至该反应空间内，并朝该反应空间的该侧面的方向延伸，用以将该非反应气体输送至该反应空间，以该非反应气体吹动该反应空间内的该粉末。


4.根据权利要求3所述的可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该非反应气体输送管线包括一延伸管线，该延伸管线位于该反应空间内，并朝该反应空间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，张容华，古家诚，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35