可拆式粉末原子层沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可拆式粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元连接轴封装置，而真空腔体透过至少一连接单元锁固在轴封装置的一端。驱动单元透过轴封装置带动真空腔体转动，以搅拌真空腔体的一反应空间内的粉末，以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。此外完成原子层沉积的真空腔体可由轴封装置上卸下，以方便使用者将粉末由真空腔体取出，并清洁真空腔体，以提高使用时的便利性。

【技术实现步骤摘要】
可拆式粉末原子层沉积装置
本专利技术有关于一种可拆式粉末原子层沉积装置，方便使用者将粉末由真空腔体取出，并清洁真空腔体，以提高使用时的便利性。
技术介绍
奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。量子点(QuantumDot)是半导体材料的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II-VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的尺寸越小则能隙越大，经照射后会发出波长较短的光。例如5到6奈米的量子点会发出橘光或红光，而2到3奈米的量子点则会发出蓝光或绿光，当然光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括：/n一轴封装置；/n一驱动单元，连接该轴封装置；/n一真空腔体，透过至少一连接单元固定在该轴封装置上，并包括一反应空间用以容置复数个粉末，其中该驱动单元透过该轴封装置带动该真空腔体转动，该连接单元解除锁固后，该真空腔体由该轴封装置卸下；/n至少一抽气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及/n至少一进气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末。/n

【技术特征摘要】
1.一种可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括：
一轴封装置；
一驱动单元，连接该轴封装置；
一真空腔体，透过至少一连接单元固定在该轴封装置上，并包括一反应空间用以容置复数个粉末，其中该驱动单元透过该轴封装置带动该真空腔体转动，该连接单元解除锁固后，该真空腔体由该轴封装置卸下；
至少一抽气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及
至少一进气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末。


2.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该轴封装置为一磁流体轴封。


3.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该轴封装置包括一外管体及一内管体，该外管体包括一容置空间用以容置该内管体，而该内管体则包括至少一连接空间用以容置该抽气管线及该进气管线。


4.根据权利要求3所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该驱动单元透过该外管体连接该真空腔体，并带动该真空腔体转动。


5.根据权利要求3所述的可拆式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，张容华，古家诚，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35