温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种可拆式粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元连接轴封装置，而真空腔体透过至少一连接单元锁固在轴封装置的一端。驱动单元透过轴封装置带动真空腔体转动，以搅拌真空腔体的一反应空间内的粉末，以利于...
该专利属于鑫天虹(厦门)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鑫天虹(厦门)科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。