一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，包括配合设有控制器的处理装置、多腔体装置、运送装置；处理装置包括设于多腔体装置顶部的若干喷淋装置和若干吹扫装置；多腔体装置包括顺次连接的第一模块、第三模块、若干第二模块、第三模块和第一模块，喷淋装置或吹扫装置配合设置在第二模块顶部，前端和后端的第三模块顶部分别设置喷淋装置和吹扫装置，两个第三模块对称；运送装置与第二模块和第三模块配合。本实用新型专利技术适用于湿电子化学品开发过程中小批量产品在线验证，参考价值高，避免评价偏差，充分满足模拟；实验规模小，安装成本低，物料可在湿电子化学品开发公司现地考评，反馈速度快，提高湿电子化学品的开发速度。

【技术实现步骤摘要】
一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备
本技术是一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备。
技术介绍
湿电子化学品是一种与光刻工艺配套的工艺化学品，主要用于进行大规模/超大规模/极大规模集成电路生产，具体来说包括太阳能面板、显示面板（包括液晶显示和有机发光二极管显示）以及芯片（包括逻辑芯片和储存芯片），该类化学品杂质含量极低，通常小于100ppb，包括纯物质、水或有机物溶液、配方型产品几类。集成电路的制造工艺十分精密，单一制程的良率较低，成本极高。因此，每一制程所采用的材料在开发、替换、变更时都意味着短期内的产能损失，变更之后也可能导致不可预期的情况。与此同时，湿电子化学品开发端通常不具备与实际应用端类似的考评条件，独立实验室进行考评的结果也正是因此对应用端不具有参考价值，这就导致湿电子化学品开发与应用的周期极长，同时开发的数据对应用端参考性差。另一方面，湿电子化学品应用端通常采用实际生产设备进行其应用性能考评，然而，该类设备通常具有尺寸大、运行成本高、设备参数可调空间小等特点，不适于应用在产品开发过程中的产品评价。因此，开发一种能够应用于湿电子化学品开发过程，并进行多种条件考评的评价设备，对加快湿电子化学品的成功开发至关重要。专利CN101055417A介绍了一种便于在湿式显影和蚀刻过程中控制图形区域内线宽误差的喷淋装置；所述喷淋装置采用由至少一个具有圆周分布的喷头组组合而成的喷头进行喷淋，所述喷头组内各喷头等距排列，且由同一流量控制器控制，每一喷头流量相同；所述沿不同圆周分布的喷头组可分别由不同的流量控制器控制，利用具有不同圆周分布的喷头组构成的组合喷头可分别为不同区域设定喷淋参数，协调待处理元件各部件与喷淋特定溶液之间的反应程度，控制线宽误差的均匀性。该喷淋装置主要适用于芯片集成电路中小尺寸圆形基板的显影制程中，不适用于方形基板上湿电子化学品考评的过程。专利CN202102214U公开了一种TFT阵列基板、液晶面板及显示设备，在TFT阵列基板中各膜层的周围增加调整显影液流动方式的图案；如此，使得显影工艺中去除显影液时，显影液流经该图案而改变流动方式，能够改善非均匀流向导致的显影液浓度不均的问题，保证在去除显影液时，显影液在整个TFT阵列基板的流动方向分布更加均匀。该显影机台仅适用于采用流动的方式进行考评的湿电子化学品，不适用于需要采用一定压力进行喷淋的湿电子化学品，且体积较为庞大，更适合于用在产线端的大尺寸生产过程中。专利CN206696590U介绍了一种恒温显影机，包括控温装置、显影装置、调压装置、显影液储液罐和清洗液储液罐；所述显影液储液罐的底部设置有加热盘，显影液储液罐内部设置有制冷管，加热盘与温控装置电连接，制冷管与一制冷压缩机连接，制冷压缩机与温控装置电连接，显影液储液罐内设置有温度传感器；两个微型气泵分别通过两根调压管道分别与显影液储液罐和清洗液储液罐联通；显影液储液罐和清洗液储液罐分别通过两根连接管道和两个喷嘴连通。该种显影机仅仅由单个喷头进行显影操作，显影均匀性难以得到良好的保证。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，实验规模较小，装置配制安装成本低，物料可在湿电子化学品开发公司现地进行考评，反馈速度快，极大程度提高了湿电子化学品的开发速度。为了实现上述目的，本技术通过以下技术方案实现：一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，所述评价设备包括处理装置、多腔体装置、运送装置；所述处理装置包括设于多腔体装置顶部的若干喷淋装置和若干吹扫装置；所述多腔体装置包括顺次连接的第一模块、第三模块、若干第二模块、第三模块和第一模块，所述的喷淋装置或吹扫装置配合设置在第二模块顶部，前端和后端的所述的第三模块顶部分别配合设置喷淋装置和吹扫装置，两个所述第三模块对称设置；所述的运送装置与第二模块和第三模块配合设置；所述处理装置、多腔体装置、运送装置配合设有控制器。优选地，所述的喷淋装置的顶部和侧面下方分别设有上密封板和侧密封板，所述喷淋装置内中部通过可控密封开关分为上仓体和下仓体，若干喷淋头通过安装孔设置于所述下仓体的底部；所述上仓体侧面设有上仓进液口和上仓出液口，所述上仓体侧面设有两端分别与上仓体空间连通的上循环管；所述下仓体侧面设有下仓进气口，所述下仓体侧面设有两端分别与下仓体空间连接的下循环管；所述可控密封开关连接至控制器。优选地，所述上仓体内配合设置换热盘，所述换热盘包括配合设置的若干温感探头和换热管，所述若干温感探头和换热管与控制器配合设置。优选地，所述吹扫装置包括壳体和与壳体配合设置的稳压仓，稳压仓顶部设有若干进气口，配合若干进气口的壳体底部设有若干气嘴，若干进气口和若干气嘴空间连通，所述稳压仓内设有压力监控传感器；所述压力监控传感器和气嘴与控制器配合设置。优选地，所述第一模块包括壳门和设于壳门内两侧的插槽，封闭盖板滑动配合设于所述插槽内，封闭盖板上设有提手。优选地，所述的第二模块和第三模块包括外壳，所述外壳内侧中部设有若干横板，若干横板上方的所述外壳的内壁两侧中部分别配合设置滑槽，配合滑槽的所述外壳的两侧壁设有若干高度固定孔；所述外壳顶部设有安装口，所述喷淋装置或吹扫装置配合安装口设于外壳上；所述外壳的两侧壁上设有若干通风孔。优选地，朝向外壳两侧内壁的所述滑槽的端面上设有若干滑槽固定孔，所述高度固定孔与滑槽固定孔通过连接杆对应设置。优选地，前端的第三模块的前端面及后端的第三模块的后端面的横板下设有挡板，挡板上的所述横板端部设置配合的竖板和调节杆；所述竖板上均匀设有若干第一通孔，所述调节杆包括横杆和固定扣，所述横杆上顺次设有固定孔、若干第二通孔、调节孔和调节槽；所述固定扣可移动贯穿调节槽设置，所述固定扣与调节杆上的任一第一通孔配合设置。优选地，所述运送装置包括存放器，所述存放器两侧配合设有第一转动件和第二转动件，所述第一转动件和第二转动件分别背向存放器配合铰接有第一连接扣和第二连接扣，所述第一连接扣和第二连接扣与对应侧的滑槽配合设置；所述第一转动件与第一连接扣间配合贯穿设有第一转动轴，所述第二转动件与第二连接扣间配合贯穿设有第二转动轴；所述存放器包括存放框，所述存放框内设有若干平行于横板的档槽。优选地，所述第一转动轴和第二转动轴的两端分别与前端和后端的第三模块内的固定孔和调节孔配合设置；所述档槽配合若干第二通孔贯穿设有驱动轴；所述驱动轴通过驱动机构连接至控制器。借由上述方案，本技术至少具有以下优点：1.采用模块化的组装方式，适用于湿电子化学品开发过程中，小批量产品的在线验证，实验结果对产品在客户端的进一步验证与烧杯实验相比有明显参考价值提升；2.采用气体压出喷嘴的方式，而非单根管路对应喷嘴的形式进行喷淋操作，极大程度的降低了位于不同位置的喷嘴上方的压力不同的情况所导致的湿电子化学品使用效果不均匀，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，其特征在于，所述评价设备包括处理装置（1）、多腔体装置（2）、运送装置（3）；/n所述处理装置（1）包括设于多腔体装置（2）顶部的若干喷淋装置（11）和若干吹扫装置（12）；/n所述多腔体装置（2）包括顺次连接的第一模块（21）、第三模块（23）、若干第二模块（22）、第三模块（23）和第一模块（21），所述的喷淋装置（11）或吹扫装置（12）配合设置在第二模块（22）顶部，前端和后端的所述的第三模块（23）顶部分别配合设置喷淋装置（11）和吹扫装置（12），两个所述第三模块（23）对称设置；/n所述的运送装置（3）与第二模块（22）和第三模块（23）配合设置；/n所述处理装置（1）、多腔体装置（2）、运送装置（3）配合设有控制器。/n

【技术特征摘要】
1.一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，其特征在于，所述评价设备包括处理装置（1）、多腔体装置（2）、运送装置（3）；
所述处理装置（1）包括设于多腔体装置（2）顶部的若干喷淋装置（11）和若干吹扫装置（12）；
所述多腔体装置（2）包括顺次连接的第一模块（21）、第三模块（23）、若干第二模块（22）、第三模块（23）和第一模块（21），所述的喷淋装置（11）或吹扫装置（12）配合设置在第二模块（22）顶部，前端和后端的所述的第三模块（23）顶部分别配合设置喷淋装置（11）和吹扫装置（12），两个所述第三模块（23）对称设置；
所述的运送装置（3）与第二模块（22）和第三模块（23）配合设置；
所述处理装置（1）、多腔体装置（2）、运送装置（3）配合设有控制器。


2.根据权利要求1所述的实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，其特征在于，所述的喷淋装置（11）的顶部和侧面下方分别设有上密封板（111）和侧密封板（112），所述喷淋装置（11）内中部通过可控密封开关分为上仓体（113）和下仓体（114），若干喷淋头（115）通过安装孔设置于所述下仓体（114）的底部；
所述上仓体（113）侧面设有上仓进液口（1131）和上仓出液口（1132），所述上仓体（113）侧面设有两端分别与上仓体（113）空间连通的上循环管（1133）；
所述下仓体（114）侧面设有下仓进气口（1141），所述下仓体（114）侧面设有两端分别与下仓体（114）空间连接的下循环管（1142）；所述可控密封开关连接至控制器。


3.根据权利要求2所述的实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，其特征在于，所述上仓体（113）内配合设置换热盘（116），所述换热盘（116）包括配合设置的若干温感探头（1161）和换热管（1162），所述若干温感探头（1161）和换热管（1162）与控制器配合设置。


4.根据权利要求1所述的实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，其特征在于，所述吹扫装置（12）包括壳体（121）和与壳体（121）配合设置的稳压仓（122），稳压仓（122）顶部设有若干进气口（1221），配合若干进气口（1221）的壳体（121）底部设有若干气嘴（1222），若干进气口（1221）和若干气嘴（1222）空间连通，所述稳压仓（122）内设有压力监控传感器；所述压力监控传感器和气嘴（1222）与控制器配合设置。


5.根据权利要求1所述的实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，其特征在于，所述第一模块（21）包括壳门（211）和设于壳门（211）内两侧的插槽（212），封闭盖板（213）滑动配合设于所述插槽（212）内，封闭盖板（213）上设有提手（214...

【专利技术属性】
技术研发人员：李潇逸，李欢，邢攸美，方伟华，施珂，谢良槐，
申请(专利权)人：杭州格林达电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33