一种高净自清洁深桶取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高净自清洁深桶取样装置，包括取样管、收放控制模块，所述取样管缠绕在所述收放控制模块上，所述收放控制模块外部设有密封的外壳，所述外壳固定有清洗模块，所述清洗模块末端连接有干燥模块，所述干燥模块末端连接有密封接头，所述取样管贯穿所述干燥模块、清洗模块、密封接头。本实用新型专利技术中，取样管在伸入样品内之前进行清洗并干燥，提高了取样管的洁净程度，同时取样管处于各模块内部，不与外部接触，避免了携带外部污染源。避免了携带外部污染源。避免了携带外部污染源。

【技术实现步骤摘要】
一种高净自清洁深桶取样装置


[0001]本技术涉及湿电子化学品开发
，特别涉及一种高净自清洁深桶取样装置。

技术介绍

[0002]湿电子化学品是一种应用于需要使用光刻工艺进行大规模/超大规模/极大规模集成电路生产的制程，具体来说包括太阳能面板、显示面板（包括液晶显示和有机发光二极管显示）以及芯片（包括逻辑芯片和储存芯片）。该类化学品杂质含量极低（通常小于100ppb），分为纯物质、纯物质水/有机溶液、配方型产品几类。
[0003]“深桶”是指适用于常规大规模/超大规模/极大规模集成电路的湿电子化学品产品包装，其包装容器通常为圆柱形容器，容积范围100
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250L，直径范围500
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1000mm，高度范围在900
‑
1200mm。
[0004]现有的液体取样器对洁净度要求较低，在操作过程中容易携带外部的污染物，从而污染样品，影响采样结果，且无法适应多种深度取样的情况，无法达到湿电子化学品的生产要求。

技术实现思路

[0005]本技术目的在于提供一种高净自清洁深桶取样装置，以解决现有技术存在的上述问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括取样管、收放控制模块，所述取样管缠绕在所述收放控制模块上，所述收放控制模块外部设有密封的外壳，所述外壳固定有清洗模块，所述清洗模块末端连接有干燥模块，所述干燥模块末端连接有密封接头，所述取样管贯穿所述干燥模块、清洗模块、密封接头。
[0007]进一步地，所述外壳上固定设有步进电机，所述外壳内转动设有绕线辊，所述步进电机输出轴固定连接所述绕线辊，所述绕线辊缠绕所述取样管。
[0008]进一步地，所述清洗模块包括与所述外壳固定连接的套杆一，所述套杆一内部设有空腔，且所述空腔两端设有密封垫，所述取样管贯穿所述密封垫，且与密封垫紧贴，所述清洗模块的两端分别设有洗液进口和洗液出口。
[0009]进一步地，所述取样管出口端套接有套杆二，所述套杆二与所述外壳固定连接。
[0010]进一步地，所述干燥模块包括与清洗模块固定连接的套管，还包括与所述套管两端连通的氮气出口和氮气入口，所述密封接头固定连接在所述套管末端。
[0011]进一步地，所述取样管的取样端头部为水滴状。
[0012]进一步地，所述外壳上设有洗液对比入口和洗液对比出口，所述洗液对比入口和所述洗液对比出口之间连通有与所述取样管同样材质的管道。
[0013]本技术的有益效果：
[0014]本技术中，取样管在伸入样品内之前进行清洗并干燥，提高了取样管的洁净
程度，同时取样管处于各模块内部，不与外部接触，避免了携带外部污染源。
[0015]本技术中，采样前段抽取的样品用于管道冲洗，取其后的样品，采样品质较高。
[0016]本技术中，采用氮气进行干燥，能够防止取样环境中的颗粒物等污染物影响取样结果。
附图说明
[0017]附图标记说明：
[0018]图1为本技术实施例外部整体结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例清洗模块及接头部位剖视图；
[0020]图3为图2的A处放大示意图；
[0021]图4为本技术实施例的收放机构的内部结构图。
[0022]图中：1、取样管；2、收放控制模块；21、外壳；22、步进电机；23、绕线辊；3、清洗模块；31、套杆一；32、洗液进口；33、洗液出口；34、密封垫；4、干燥模块；41、套管；42、氮气入口；43、氮气出口；5、密封接头；6、套杆二；71、洗液对比入口；72、洗液对比出口。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]参阅图1
‑
3，本技术实施例提供了一种高净自清洁深桶取样装置，包括取样管1、收放控制模块2，所述收放控制模块2包括密封外壳21，以防止外部污染，所述密封外壳21内设有步进电机22，所述步进电机22输出轴固定连接的绕线辊上缠绕所述取样管1，以控制所述取样管1的取样端的收放，所述收放控制模块2上固定有清洗模块3，用以清洗所述取样管1上可能存在的灰尘，所述清洗模块3包括垂直设置于外壳21上的套杆一31、所述套杆一31底部设置的洗液出口33，所述套杆一31上方设置的洗液进口32，所述套杆内部设有空腔，并且所述空腔两端设有密封垫34，所述取样管1贯穿所述密封垫34，且与密封垫34紧贴，用以流动洗液清洗取样管1，且洗液不会流至其他部位，所述套杆一31顶端连接有干燥模块4，用以吹回并干燥清洗后附着的液体，所述干燥模块4包括与所述套杆一31顶端连接的套管41、氮气入口42、氮气出口43，所述套管41上连接所述氮气出口43，所述套管41末端转动连接有密封接头5，所述密封接头5上设置所述氮气入口42，所述取样管1贯穿所述干燥模块4、清洗模块3、密封接头5，使所述取样管1与外部隔绝，防止污染。
[0025]所述取样管1出口端设套接有套杆二6，套杆二6固定连接在密封外壳21上，用以阻隔外界污染。
[0026]所述取样管1的取样端头部设为水滴状，使所述取样管1能够流畅在管内穿过，并减小在与样品液面接触时的冲击，从而减少可能由于物理冲击引起的样品污染，增加取样可靠性和洁净度。
[0027]所述收放控制模块2的外壳21上还设有两个对比液洗液对比入口71和两个洗液对
比出口72，所述洗液对比入口71和所述洗液对比出口72之间连接有和所述取样管1材料一致的连接管道，通过这两个出入口做与实际取样的样品做平行对比样。
[0028]本技术工作原理：
[0029]将各模块组装好后，在取样前，向洗液进口32、洗液对比入口71中通入与样本对应的洗液，如需要对水溶液体系的产品取样，则通入高纯水，如需要对有机溶液体系产品取样，则根据实际情况通入与其有机溶液相同的有机溶液或者溶剂，洗液从洗液出口33、洗液对比出口72流出，在洗液对比出口72及洗液出口33采样分析样品中需要检测的污染项目，指标合格后，保持继续通入洗液，以持续冲洗套杆一31内的取样管1。
[0030]向所述干燥模块4通入高纯氮气，为后续干燥所述取样管1做准备，将密封接头5与所需取样桶的接口进行连接，确保连接处完全密封后，检查氮气出口43压力和桶内压力，确保取样桶不发生鼓胀。
[0031]保持洗液持续清洗的情况下，收放控制模块2中的步进电机22控制绕线辊转动，将取样管1逐渐沿着套管41内侧向密封接头5伸出并向取样桶内伸入，伸入速度根据干燥氮气的速率和所取用物料的浓度管控要求而定。
[0032]伸入桶内一半高度后本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高净自清洁深桶取样装置，其特征在于：包括取样管（1）、收放控制模块（2），所述取样管（1）缠绕在所述收放控制模块（2）上，所述收放控制模块（2）外部设有密封的外壳（21），所述外壳（21）固定有清洗模块（3），所述清洗模块（3）末端连接有干燥模块（4），所述干燥模块（4）末端连接有密封接头（5），所述取样管（1）贯穿所述干燥模块（4）、清洗模块（3）、密封接头（5）。2.如权利要求1所述的一种高净自清洁深桶取样装置，其特征在于：所述外壳（21）上固定设有步进电机（22），所述外壳（21）内转动设有绕线辊，所述步进电机（22）输出轴固定连接所述绕线辊，所述绕线辊缠绕所述取样管（1）。3.如权利要求1所述的一种高净自清洁深桶取样装置，其特征在于：所述清洗模块（3）包括与所述外壳（21）固定连接的套杆一（31），所述套杆一（31）内部设有空腔，且所述空腔两端设有密封垫（34），所述取样管（1）贯穿所述密封垫（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢攸美，李潇逸，张之钧，刘永南，章帅迪，倪芸岚，尹云舰，李林佳，施珂，
申请(专利权)人：杭州格林达电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：