一种从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是一种从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置，包括原料罐，所述的原料罐通过管道依次连接有第一过滤器、吸附装置、多级精馏装置、多级过滤装置和污水处理系统，所述的多级过滤装置与第一过滤器连接，解决目前剥离液废液回收过程中设备投入高，难以应对复杂组成剥离液废液的问题，不仅减少面板厂废液废水处理的压力和费用，而且能够有效降低剥离液成本，从而达到了一个循环经济的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置
本技术是一种从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置。
技术介绍
随着电子产业国内化转移趋势增加以及国家政策的支持，国内电子产业发展迅速，面板产线数量暴增，而且多条高世代下已投入生产，面板产能持续快速增长，因此随着面板行业的发展，剥离液用量将会呈现爆发式增长，随之剥离液废液也会大量产生，这些废液直接排放不仅会严重污染环境，而且会造成剥离液成本居高不下，另一方面，光刻胶是光刻工艺的核心材料之一，占面板总成本的15%左右，剥离液废液中含有0.2-5%的废光刻胶，目前大多是在剥离液废液回收有机溶剂后作为固废进行处理，如此处理成本高，还有二次污染的可能，如果将其回收并循环利用，有利于降低成本并减少环境污染；苏州晶洲装备科技有限公司公布了一种光阻剥离液废液回收配液装置，并申请了中国专利，CN209652205U，该装置能够有效将光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺蒸出并进行循环利用，非专利文献1公布了从光刻胶废剥离液中回收有机溶剂的方法，通过优化工艺可使溶剂回收率高达97.71%，但以上装置和工艺只适用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置，包括原料罐（1），其特征在于，所述的原料罐（1）通过管道依次连接有第一过滤器（2）、吸附装置（3）、多级精馏装置（4）、多级过滤装置（5）和污水处理系统（6），所述的多级过滤装置（5）与第一过滤器（2）连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置，包括原料罐（1），其特征在于，所述的原料罐（1）通过管道依次连接有第一过滤器（2）、吸附装置（3）、多级精馏装置（4）、多级过滤装置（5）和污水处理系统（6），所述的多级过滤装置（5）与第一过滤器（2）连接。


2.根据权利要求1所述的从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置，其特征在于，所述吸附装置（3）包括阳离子树脂（31）和阴离子树脂（32），所述阳离子树脂（31）一端与第一过滤器（2）的输出端连接，另一端连接至阴离子树脂（32）的一端，所述阴离子树脂（32）的另一端连接至多级精馏装置（4）。


3.根据权利要求1所述的从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置，其特征在于，所述多级精馏装置（4）包括若干精馏装置（41），任一所述精馏装置（41）包括精馏塔（411）、冷凝装置（412）和再沸器（413），任一所述精馏塔（411）与上一精馏塔（411）或吸附装置（3）连接，冷凝装置（412）和再沸器（413）分别与精馏塔（411）配合设置，所述再沸器（413）与对应的精馏塔（411）及下一精馏塔（411）或多级过滤装置（5）配合设置。


4.根据权利要求3所述的从剥离液废液中回收有机溶剂和光刻胶的装置，其特征在于，任一级精馏塔（411）的气相出口与冷凝装置（412）的入口相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡涛，邢攸美，高立江，王小栋，王小眉，方伟华，尹云舰，施珂，
申请(专利权)人：杭州格林达电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33