一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，至少包括：加料机构，包括进料管、加料管和出料管；气压供给机构，包括排气管、盘管和气体压出组件；所述排气管连接于所述加料管；所述盘管和所述气体压出组件均设置于所述排气管内，所述盘管的一端连接所述气体压出组件，所述盘管的另一端延伸至所述排气管外；红外液位控制机构，设置于所述加料管外壁，用于液位控制；驱动机构，包括密封箱、电机和缠绕辊；所述密封箱内设置所述电机，所述电机的输出轴上连接所述缠绕辊，所述缠绕辊上缠绕所述盘管。本实用新型专利技术能够实现添加过程的自动化、连续化，过程精细可控，同时保证了半导体湿电子化学品产品的洁净度要求。电子化学品产品的洁净度要求。电子化学品产品的洁净度要求。

【技术实现步骤摘要】
一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置


[0001]本技术涉及一种半导体湿电子化学品应用
，尤其涉及一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置。

技术介绍

[0002]半导体湿电子材料主要包括显影液、剥离液、清洗液等，一般用于集成电路制造过程中光刻胶的显影、剥离、晶圆表面清洗处理等工序。随着集成电路的精细化开发，半导体行业对于湿电子材料的要求越来越高，针对配方型湿电子化学品中往往需要添加高粘度高纯液体组分来改善化学品的各项性能，以实现半导体领域的高精细化应用要求。半导体领域的湿电子化学品对各组分浓度误差有极高的精确管控要求，因此对于各成分的加入量有极高的精确管控要求；另外半导体领域中对湿电子化学品纯度品质有很高的要求，因此各成分的添加过程需要在高度洁净的环境下进行。因此，如何设计一种装置能够同时满足半导体湿电子化学品应用领域对系统密闭性、高粘度液体添加浓度误差精确管控性和湿电子材料高纯度品质性要求，是当前半导体湿电子材料配置过程需要解决的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，解决了半导体湿电子化学品现有技术开发和生产过程中高粘度高纯液体添加配置过程存在的问题，尤其是高粘度液体加入时候挂壁和一次性加入后液体沉底无法完全溶解等问题，直接影响高粘度液体添加精度和最终产品的性能。
[0004]本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，至少包括：
[0006]加料机构，包括进料管、加料管和出料管；所述进料管的出料口连接所述加料管的侧壁，所述加料管的出料口连接所述出料管；
[0007]气压供给机构，包括排气管、盘管和气体压出组件；所述排气管连接于所述加料管；所述盘管和所述气体压出组件均设置于所述排气管内，所述盘管的一端连接所述气体压出组件，所述盘管的另一端延伸至所述排气管外；
[0008]红外液位控制机构，设置于所述加料管外壁，用于液位控制；
[0009]驱动机构，包括密封箱、电机和缠绕辊；所述密封箱内设置所述电机，所述电机的输出轴上连接所述缠绕辊，所述缠绕辊上缠绕所述盘管。
[0010]作为优选，所述气体压出组件包括贯通连接的顶端连接件和底端连接件，所述顶端连接件设置于所述底端连接件的上表面，且所述顶端连接件的外径小于所述底端连接件，所述顶端连接件的外表面固定连接所述盘管。
[0011]作为优选，所述顶端连接件内设置有侧锥形气体通道，所述侧锥形气体通道的顶端气口连接所述盘管，所述侧锥形气体通道的底端气口连通有气体分布器，所述气体分布器的出气口连接气体分布通道。
[0012]作为优选，所述气体分布通道自上而下由宽逐渐变窄直至形成所述气体压出组件的出气口。
[0013]作为优选，所述红外液位控制机构包括固定套管、红外发射器和红外接收器，所述固定套管套设于所述加料管的外壁，所述固定套管内夹持所述红外发射器和所述红外接收器，且所述红外发射器和所述红外接收器相对设置。
[0014]作为优选，所述加料机构和所述气压供给机构的材质均采用可熔性聚四氟乙烯。
[0015]作为优选，所述排气管上设置有出气管。
[0016]作为优选，所述密封箱上设有进气口和出气口，且所述密封箱的上表面设置有通孔，所述盘管的一端通过贯穿所述通孔延伸至所述密封箱外。
[0017]本技术的有益效果是：本技术采用惰性气体气吹扫加料管管壁推动高粘度高纯液体，避免出现高粘度液体挂壁残留现象，减少高粘度液体原料的损耗，实现了高粘度高纯液体添加量的精确控制。另外通过调节惰性气体流速和出液阀门开启大小，有效控制添加过程中液体的流速，以有效控制高粘度高纯液体添加量，解决高粘度液体一次性加导致沉底无法完全溶解的问题，实现添加过程的自动化、连续化，过程精细可控，同时保证了半导体湿电子化学品产品的洁净度要求。
附图说明
[0018]图1为本技术一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置的整体示意图；
[0019]图2为本技术一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置的局部示意图；
[0020]图3为本技术气体压出组件的示意图；
[0021]图4为本技术驱动机构的示意图。
[0022]附图标记说明
[0023]1‑
加料机构，11
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进料管，12
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加料管，13
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出料管，2
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气压供给机构，21
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排气管，211
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出气管，22
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盘管，23
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气体压出组件，231
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顶端连接件，2311
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侧锥形气体通道，2312
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气体分布器，232
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底端连接件，2321
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气体分布通道，3
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红外液位控制机构，31
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固定套管，32
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红外发射器，33
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红外接收器，4
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驱动机构，41
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密封箱，411
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进气口，412
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出气口，413
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通孔，42
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电机，43
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缠绕辊。
具体实施方式
[0024]以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]参见图1
‑
图3，一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，至少包括：
[0026]加料机构1，包括进料管11、加料管12和出料管13；所述进料管11的出料口连接所述加料管12的侧壁，所述加料管12的出料口连接所述出料管13；
[0027]气压供给机构2，包括排气管21、盘管22和气体压出组件23；所述排气管21连接于所述加料管12；所述盘管22和所述气体压出组件23均设置于所述排气管21内，所述盘管22的一端连接所述气体压出组件23，所述盘管22的另一端延伸至所述排气管21外；
[0028]红外液位控制机构3，设置于所述加料管12外壁，用于液位控制；
[0029]参见图4，驱动机构4，包括密封箱41、电机42和缠绕辊43；所述密封箱41内设置所述电机42，所述电机42的输出轴上连接所述缠绕辊43，所述缠绕辊43上缠绕所述盘管22。
[0030]所述气体压出组件23包括贯通连接的顶端连接件231和底端连接件232，所述顶端连接件231设置于所述底端连接件232的上表面，且所述顶端连接件231的外径小于所述底端连接件232，所述顶端连接件231的外表面固定连接所述盘管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，其特征在于，至少包括：加料机构（1），包括进料管（11）、加料管（12）和出料管（13）；所述进料管（11）的出料口连接所述加料管（12）的侧壁，所述加料管（12）的出料口连接所述出料管（13）；气压供给机构（2），包括排气管（21）、盘管（22）和气体压出组件（23）；所述排气管（21）连接于所述加料管（12）；所述盘管（22）和所述气体压出组件（23）均设置于所述排气管（21）内，所述盘管（22）的一端连接所述气体压出组件（23），所述盘管（22）的另一端延伸至所述排气管（21）外；红外液位控制机构（3），设置于所述加料管（12）外壁，用于液位控制；驱动机构（4），包括密封箱（41）、电机（42）和缠绕辊（43）；所述密封箱（41）内设置所述电机（42），所述电机（42）的输出轴上连接所述缠绕辊（43），所述缠绕辊（43）上缠绕所述盘管（22）。2.根据权利要求1所述的一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，其特征在于，所述气体压出组件（23）包括贯通连接的顶端连接件（231）和底端连接件（232），所述顶端连接件（231）设置于所述底端连接件（232）的上表面，且所述顶端连接件（231）的外径小于所述底端连接件（232），所述顶端连接件（231）的外表面固定连接所述盘管（22）。3.根据权利要求2所述的一种高粘度高纯液体的自动连续精准添加装置，其特征在于，所述顶端连接件（231）内设置有侧锥形气体通道（...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪芸岚，邢攸美，蒋哲男，张之钧，徐钉，方伟华，尹云舰，金海安，余红刚，
申请(专利权)人：杭州格林达电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：