本发明专利技术提供切削方法和切削装置，能够检测到实际对被加工物进行切削而形成的切削槽的宽度与发货前所测量的切口宽度之差超过允许范围。切削刀具具有识别码，该识别码包含发货前切削刀具对被加工物进行切削而得的切口宽度的信息，切削装置具有识别码的读取单元。切削方法包含：识别码读取步骤，利用读取单元读取切削刀具的识别码而获得切口宽度的信息；刀具安装步骤，将切削刀具安装于主轴的前端；切削步骤，切削被加工物而形成切削槽；宽度检测步骤，对切削槽进行拍摄而检测切削槽的宽度；比较步骤，对切削槽的宽度与切口宽度进行比较；和警告步骤，在比较步骤所比较的切削槽的宽度与切口宽度存在超过允许范围的偏差的情况下，发出警告。发出警告。发出警告。
【技术实现步骤摘要】
切削方法和切削装置
[0001]本专利技术涉及利用切削装置对被加工物进行切削的切削方法和切削装置。
技术介绍
[0002]使用如下的切削装置：利用切削刀具沿着间隔道对由硅等构成的晶片进行切削而分割成各个器件(例如参照专利文献1)。
[0003]关于上述的切削刀具，在从工厂发货前对晶片进行切削而形成切削槽，并测量切削槽的宽度。对于切削刀具，将测量而得的切削槽的宽度的值作为切口宽度而保存于二维码或条形码等识别码中，将识别码标记在切削刀具上或对切削刀具进行收纳的收纳容器上，强调该切削刀具为规定的切口宽度而发货。
[0004]专利文献1：日本特开2018-129329号公报
[0005]另一方面，切削刀具在安装于主轴的前端时，有时在相对于主轴的轴心略微倾斜的状态下进行安装。当切削刀具以在相对于主轴的轴心略微倾斜的状态下安装的状态对被加工物进行切削时，对被加工物进行切削而形成的切削槽的宽度会比发货前所测量且保存于识别码的切口宽度宽。
[0006]另外，有时切削刀具在安装于主轴的前端时略微损伤，在未注意到损伤而安装于主轴的情况下，对被加工物进行切削而形成的切削槽的宽度与发货前所测量且保存于识别码的切口宽度之差会变大。当切削刀具发生损伤时，在切削中切削刀具的切刃弯曲行进，切削槽的宽度比切口宽度宽，有时无法正常地进行切削。另外，在切削刀具发生损伤、切刃发生破裂或裂缝的情况下，切削槽的宽度比切口宽度窄，有时无法正常地进行切削。
[0007]例如在对晶片进行切削时，当实际进行切削而形成的切削槽的宽度比设想的切口宽度宽时，切削槽或被称为崩边的因缺损而生成的区域从间隔道探出，从而可能会损伤器件的有源区，因此迫切希望得到改善。
技术实现思路
[0008]本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供切削方法和切削装置，能够检测到实际对被加工物进行切削而形成的切削槽的宽度与发货前所测量的切口宽度之差超过允许范围。
[0009]为了解决上述课题实现目的，本专利技术的切削方法利用切削装置对被加工物进行切削，该切削装置在主轴的前端安装有切削刀具，其特征在于，该切削刀具具有识别码，该识别码包含发货前该切削刀具对被加工物进行切削而得的切削槽的宽度的信息，该切削装置具有该识别码的读取构件，该切削方法具有如下的步骤：识别码读取步骤，利用该读取构件读取该切削刀具的该识别码，获得发货前的切削槽的宽度的该信息；刀具安装步骤，在实施了该识别码读取步骤之后，将该切削刀具安装于该主轴的前端；切削步骤，在实施了该刀具安装步骤之后，对被加工物进行切削而形成切削槽；宽度检测步骤，对通过该切削步骤而形成的切削槽进行拍摄而对该切削槽的宽度进行检测；比较步骤，对通过该宽度检测步骤而
检测的该切削槽的宽度与通过该识别码读取步骤而获得的发货前的切削槽的该宽度进行比较；以及警告步骤，在通过该比较步骤而比较的结果是通过该宽度检测步骤而检测的该切削槽的宽度与通过该识别码读取步骤而获得的发货前的切削槽的该宽度存在超过允许范围的偏差的情况下，发出警告。
[0010]所述切削方法也可以还具有如下的产品切削步骤：在实施了该切削步骤、该宽度检测步骤以及该比较步骤之后，对产品被加工物进行切削，在该切削步骤中，对与该产品被加工物不同的虚拟被加工物进行切削。
[0011]所述切削方法也可以是，在该切削步骤中，形成多个该切削槽，在该宽度检测步骤中，对多个该切削槽中的最后形成的该切削槽的宽度进行检测。
[0012]本专利技术的切削装置的特征在于，该切削装置具有：保持构件，其对被加工物进行保持；切削构件，其具有切削刀具以及主轴，该切削刀具对该保持构件所保持的被加工物进行切削，该切削刀具具有识别码，该识别码包含发货前该切削刀具对被加工物进行切削而得的切削槽的宽度的信息，该主轴供该切削刀具以能够更换的方式安装；移动构件，其使该切削构件相对于该保持构件相对地移动；该识别码的读取构件；拍摄构件，其对该保持构件所保持的被加工物进行拍摄；以及控制构件，其对该移动构件进行控制，该控制构件具有：存储部，其存储利用该读取构件读取该切削刀具的该识别码而获得的发货前的切削槽的宽度的该信息；宽度检测部，其根据对形成于被加工物的切削槽进行拍摄而得的拍摄图像来检测该切削槽的宽度；比较部，其对该宽度检测部所检测的该切削槽的宽度与该存储部所存储的发货前的切削槽的该宽度进行比较；允许范围存储部，其存储相对于发货前的切削槽的宽度而设定的槽宽度的允许范围；以及警告发送部，在该比较部所比较的结果是该宽度检测部所检测的该切削槽的宽度与该存储部所存储的发货前的切削槽的该宽度存在超过该允许范围存储部所存储的允许范围的偏差的情况下，该警告发送部发出警告。
[0013]本申请专利技术起到如下的效果：能够检测到实际对被加工物进行切削而形成的切削槽的宽度与发货前所测量的切口宽度之差超过允许范围。
附图说明
[0014]图1是示出第1实施方式的切削装置的结构例的立体图。
[0015]图2是将第1实施方式的切削单元分解而示出的立体图。
[0016]图3是图2所示的切削单元的切削刀具的立体图。
[0017]图4是对图3所示的切削刀具进行收纳的收纳容器的俯视图。
[0018]图5是示出第1实施方式的切削方法的流程的流程图。
[0019]图6是以局部剖视示意性示出图5所示的切削方法的切削步骤的侧视图。
[0020]图7是以局部剖视示意性示出图5所示的切削方法的宽度检测步骤的侧视图。
[0021]图8是示意性示出在图5所示的切削方法的宽度检测步骤中拍摄单元进行拍摄而得到的拍摄图像的图。
[0022]图9是在第2实施方式的切削方法的切削步骤中形成切削槽的镜面晶片的立体图。
[0023]图10是在第2实施方式的切削方法的切削步骤中形成切削槽的修整板的立体图。
[0024]图11是将第1实施方式和第2实施方式的变形例的切削装置的切削单元分解而示出的立体图。
[0025]标号说明
[0026]1：切削装置；10：保持工作台(保持构件)；20：切削单元(切削构件)；21、21-1：切削刀具；22：主轴；30：拍摄单元(拍摄构件)；40：移动单元(移动构件)；100：控制单元(控制构件)；101：存储部；102：宽度检测部；103：比较部；104：允许范围存储部；105：警告发送部；120：读取单元(读取构件)；200：被加工物(产品被加工物)；200-1：镜面晶片(虚拟被加工物)；200-2：修整板(虚拟被加工物)；207：切削槽；214：识别码；ST1：识别码读取步骤；ST2：刀具安装步骤；ST3：切削步骤；ST4：宽度检测步骤；ST5：比较步骤；ST6：警告步骤；ST7：产品切削步骤。
具体实施方式
[0027]参照附图，对用于实施本专利技术的方式(实施方式)进行详细说明。本专利技术并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种切削方法，利用切削装置对被加工物进行切削，该切削装置在主轴的前端安装有切削刀具，其中，该切削刀具具有识别码，该识别码包含发货前该切削刀具对被加工物进行切削而得的切削槽的宽度的信息，该切削装置具有该识别码的读取构件，该切削方法具有如下的步骤：识别码读取步骤，利用该读取构件读取该切削刀具的该识别码，获得发货前的切削槽的宽度的该信息；刀具安装步骤，在实施了该识别码读取步骤之后，将该切削刀具安装于该主轴的前端；切削步骤，在实施了该刀具安装步骤之后，对被加工物进行切削而形成切削槽；宽度检测步骤，对通过该切削步骤而形成的切削槽进行拍摄而对该切削槽的宽度进行检测；比较步骤，对通过该宽度检测步骤而检测的该切削槽的宽度与通过该识别码读取步骤而获得的发货前的切削槽的该宽度进行比较；以及警告步骤，在通过该比较步骤而比较的结果是通过该宽度检测步骤而检测的该切削槽的宽度与通过该识别码读取步骤而获得的发货前的切削槽的该宽度存在超过允许范围的偏差的情况下，发出警告。2.根据权利要求1所述的切削方法，其中，该切削方法还具有如下的产品切削步骤：在实施了该切削步骤、该宽度检测步骤以及该比较步骤之后，对产品被加工物进行切削，在该切削步骤中，对与该产品被加工物不同的虚拟被加工物进行切削。3.根据权利要求1或2所述的切削方法，其中，在该切削步...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本直子，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：
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