平版印刷术用洗涤剂及冲洗液制造技术

提供一种抗蚀剂等溶解性、剥离性优良的平版印刷术用洗涤剂。该平版印刷术用洗涤剂的主要成分含有：（ａ１）烷基的碳数为２或２以上的一丙二醇一烷基醚、（ａ２）一丙二醇二烷基醚、（ａ３）二或三丙二醇烷基醚、（ａ４）一、二或三丙二醇芳基醚、（ａ５）１，３－丁二醇或丙三醇的烷基醚、（ｂ１）烷基的碳数为２或２以上的α型一丙二醇烷基醚乙酸酯、（ｂ２）二或三丙二醇烷基醚乙酸酯、（ｂ３）一、二或三丙二醇芳基醚乙酸酯、（ｂ４）１，３－丁二醇或丙三醇的烷基醚乙酸酯、及（ｂ５）Ｃ＜ｓｕｂ＞３－４＜／ｓｕｂ＞链烷多元醇乙酸酯。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平版印刷术用洗涤剂及冲洗液，其用于从集成电路元件、滤色器、液晶显示元件等基板或抗蚀剂涂敷装置等中，将硬化和未硬化的不需要的抗蚀剂、防反射膜等溶解或剥离除去。
技术介绍
为了制造集成电路元件、滤色器、液晶显示元件等，以前一直使用平版印刷术技术。在使用平版印刷术技术制造集成电路元件等时，例如，根据需要，在基板上形成防反射膜后，涂布正型或负型抗蚀剂，通过烘烤除去溶剂后，在抗蚀剂膜上根据需要形成防反射膜，通过紫外线、远紫外线、电子线、X线等各种放射线进行曝光，使其显影，形成抗蚀剂布线图案。上述抗蚀剂等的涂布采用各种公知的方法，例如旋转涂布、辊涂布、两面涂布、展开涂布、刮刀涂布、浸渍涂布等。例如在制造集成电路元件中，抗蚀剂涂布法主要采用旋转涂布。利用旋转涂布法时，在基板上滴下抗蚀剂溶液，滴下的抗蚀剂溶液通过基板的旋转向基板外周边方向展开，过剩的抗蚀剂溶液从基板外周飞散除去，形成具有特定厚度的抗蚀剂膜。但是，这时，一部分抗蚀剂溶液旋转至基板的背面，或者抗蚀剂溶液在基板的外部边缘比在其它部分厚，也就是形成所谓的珠而不需要的抗蚀剂需要从基板侧面周边部或里面除去，或需要除去珠。这种情况不仅是在制造集成电路元件时，而且在制造滤色器、液晶显示元件等时也存在同样的问题。另外，在旋转涂布法以外的涂布法中也和旋转涂布法中的情况相同，有时在不需要部分附着抗蚀剂。另外，在基板和抗蚀剂膜之间存在反射膜的集成电路元件的情况下，形成布线图案之后，需要除去防反射膜。在使用附着了抗蚀剂溶液的涂布装置时，也需要洗洗涤涂布装置。作为解决方案，在特公平4-49938号公报的实施例中记载了如下实例，即使用丙二醇甲醚和丙二醇甲醚乙酸酯的1∶1混合物构成的剥离剂，剥离光致抗蚀剂层。在特开平6-324499号公报的实施例中记载了如下实例，即使用以β型丙二醇一甲醚乙酸酯构成的抗蚀剂洗涤除去用的溶剂、及β型丙二醇一甲醚乙酸酯为主成分，含有α型丙二醇一甲醚乙酸酯的洗涤除去用溶剂，除去不需要的抗蚀剂形成用涂布物。在特开平2001-117242号公报的实施例中记载了如下实例，即使用1，3-丙二醇甲醚及1，3-丙二醇甲醚乙酸酯作为洗涤剂，除去不需要的抗蚀剂。另外，在特开2001-117241号公报的实施例中记载了如下实例，即使用1，3-丙二醇甲醚及1，3-丙二醇甲醚乙酸酯和水的混合液作为冲洗液，除去不需要的抗蚀剂。但是上述溶剂及溶剂组合物由于对抗蚀剂的溶解性、剥离性不够，另外，需要比较长的溶解时间，因此，可以说在实际应用中还不够理想。专利文献1特公平4-49938号公报专利文献2特开平6-324499号公报专利文献3特开2001-117242号公报专利文献4特开2001-1172421号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种不存在上述缺点的平版印刷术用洗涤剂及冲洗液，其不仅对有机溶剂溶液形成的抗蚀剂或防反射膜等，而且，对水溶液形成的防反射膜等也具有良好的溶解性、剥离性。本专利技术的另外的目的在于提供一种平版印刷术用冲洗液，其不仅具有上述特性，而且其改善了发生火灾的危险性，操作上也方便。本专利技术者进行了深入研究的结果发现，利用特定的有机溶剂或特定的多种有机溶剂的组合，或它们和水的混合液，可以达到上述目的。即本专利技术提供一种平版印刷术用洗涤剂，其主要成分含有至少一种选自(a1)烷基的碳数为2或2以上的一丙二醇一烷基醚、(a2)一丙二醇二烷基醚、(a3)二或三丙二醇烷基醚、(a4)一、二或三丙二醇芳基醚、(a5)1，3-丁二醇或丙三醇的烷基醚、(b1)烷基的碳数为2或2以上的α型一丙二醇烷基醚乙酸酯、(b2)二或三丙二醇烷基醚乙酸酯、(b3)一、二或三丙二醇芳基醚乙酸酯、(b4)1，3-丁二醇或丙三醇的烷基醚乙酸酯、及(b5)C3-4链烷多元醇乙酸酯的有机溶剂。该平版印刷术用洗涤剂的优选方式中，含有至少一种选自(a1)烷基的碳数为2或2以上的一丙二醇一烷基醚、(a2)一丙二醇二烷基醚、(a3)二或三丙二醇烷基醚、(a4)一、二或三丙二醇芳基醚、及(a5)1，3-丁二醇或丙三醇的烷基醚中的至少一种醚类，和(b1′)一丙二醇烷基醚乙酸酯、(b2)二或三丙二醇烷基醚乙酸酯、(b3)一、二或三丙二醇芳基醚乙酸酯、(b4)1，3-丁二醇或丙三醇的烷基醚乙酸酯、及(b5)C3-4链烷多元醇乙酸酯的乙酸酯类作为主要成分。另外，该平版印刷术用洗涤剂的另一优选方式中，含有至少一种选自(a1′)一丙二醇一烷基醚、(a2)一丙二醇二烷基醚、(a3)二或三丙二醇烷基醚、(a4)一、二或三丙二醇芳基醚、及(a5)1，3-丁二醇或丙三醇的烷基醚中的至少一种醚类，和(b1)烷基的碳数为2或2以上的α型一丙二醇烷基醚乙酸酯、(b2)二或三丙二醇烷基醚乙酸酯、(b3)一、二或三丙二醇芳基醚乙酸酯、(b4)1，3-丁二醇或丙三醇的烷基醚乙酸酯、及(b5)C3-4链烷多元醇乙酸酯的乙酸酯类作为主要成分。本专利技术提供一种平版印刷术用冲洗液，其特征在于，在上述平版印刷术用洗涤剂中含有水，制成均质溶液。另外，本说明书中没有特别说明时，丙二醇包括α型丙二醇(1，2-丙二醇)及β型丙二醇(1，3-丙二醇)本专利技术的平版印刷术用洗涤剂及冲洗液不仅对由有机溶剂溶液形成的抗蚀剂或防反射膜等，而且对由水溶液形成的防反射膜都具有良好的溶解性、剥离性。另外，本专利技术的平版印刷术用冲洗液改善了火灾的危险性，操作也方便。具体实施例方式本专利技术的平版印刷术用洗涤剂，其中含有至少一种选自(a1)烷基的碳数为2或2以上的一丙二醇一烷基醚、(a2)一丙二醇二烷基醚、(a3)二或三丙二醇烷基醚、(a4)一、二或三丙二醇芳基醚、(a5)1，3-丁二醇或丙三醇的烷基醚、(b1)烷基的碳数为2或2以上的α型一丙二醇烷基醚乙酸酯、(b2)二或三丙二醇烷基醚乙酸酯、(b3)一、二或三丙二醇芳基醚乙酸酯、(b4)1，3-丁二醇或丙三醇的烷基醚乙酸酯、及(b5)C3-4链烷多元醇乙酸酯的有机溶剂作为主要成分。除分别单独使用这些有机溶剂之外，也可以任意比例混合两种以上后使用。特别优选前述(a1)～(a5)的醚类和前述(b1)～(b5)的乙酸酯类分别至少存在一种的混合体系。另外，在前述各有机溶剂中，所谓烷基，优选甲基、乙基、丙基、丁基等碳数1～4个的直链状或支链状烷基。另外，芳基，优选苯基、萘基等碳数6～10个的芳基。前述烷基的碳数为2或2以上的一丙二醇一烷基醚(a1)，例如有丙二醇-1-乙基醚、丙二醇-1-丙基醚、丙二醇-1-丁基醚等一丙二醇一烷基醚(特别是烷基的碳数为3或4的一丙二醇一烷基醚)等。其中，优选α型一丙二醇一烷基醚。前述一丙二醇二烷基醚(a2)，例如有丙二醇二甲基醚、丙二醇甲基乙基醚、丙二醇甲基丙基醚、丙二醇甲基丁基醚、丙二醇二乙基醚、丙二醇乙基丙基醚、丙二醇乙基丁基醚、丙二醇二丙基醚、丙二醇丙基丁基醚、丙二醇二丁基醚等。前述二或三丙二醇烷基醚(a3)中，二丙二醇烷基醚有二丙二醇-1-甲基醚、二丙二醇-1-乙基醚、二丙二醇-1-丙基醚、二丙二醇-1-丁基醚等二丙二醇一烷基醚；二丙二醇二甲基醚、二丙二醇甲基乙基醚、二丙二醇甲基丙基醚、二丙二醇甲基丁基醚、二丙二醇二乙基醚、二丙二醇乙基丙基醚、二丙二醇乙基丁基醚、二丙二醇二丙基醚、二丙二醇本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平版印刷术用洗涤剂，其中，作为主要成分含有：选自（ａ１）烷基的碳数为２或２以上的一丙二醇一烷基醚、（ａ２）一丙二醇二烷基醚、（ａ３）二或三丙二醇烷基醚、（ａ４）一、二或三丙二醇芳基醚、（ａ５）１，３－丁二醇或丙三醇的烷基醚、（ｂ１）烷基的碳数为２或２以上的α型一丙二醇烷基醚乙酸酯、（ｂ２）二或三丙二醇烷基醚乙酸酯、（ｂ３）一、二或三丙二醇芳基醚乙酸酯、（ｂ４）１，３－丁二醇或丙三醇的烷基醚乙酸酯、及（ｂ５）Ｃ↓［３－４］链烷多元醇乙酸酯中的至少一种有机溶剂。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松田洋和，堀口明，大谷浩司，高桥一史，
申请(专利权)人：大赛璐化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]