【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是一种纳米
的制备方法，具体是一种。
技术介绍
一维纳米材料在微纳电子器件中的应用主要是采用微纳电子加工技术，通过各种微图形结构来实现的。常用的加工方法一般是将成膜工艺和图形化工艺相结合。目前，一维纳米材料的图形化技术中，对碳纳米管的图形化技术研究的较多，其主流技术包括CVD技术和基于碳纳米管浆料的图形化技术，但是这两种方法对碳纳米管微结构的三维构造能力都很低，无法满足在特殊微纳电子器件的结构中，具有一定高度的一维纳米材料三维构型的特殊要求，阻碍了碳纳米管器件的实用化进程。对于其他类型的一维纳米材料，目前缺乏有应用针对性的系统的图形化技术，这种情况也限制了这些材料的应用水平。在某些应用领域，需要一维纳米材料具有三维器件结构特征，需要通过有效的三维微构型技术制备获得。这里所指的三维微构型技术是指可以在三个维度上对材料的结构进行加工，并且其加工精度在微米或亚微米数量级。目前一维纳米材料的三维微构型技术只有针对碳纳米管材料的见于报道，其中具有代表性的技术有两类其一是通过在基体的三维构型上覆盖碳纳米管膜实现对碳纳米管的三维结构控制，典型的技术是在...
【技术保护点】
一种一维纳米材料的三维微构型制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（１）基片准备：对用于制备微构型的基片进行预处理，采用标准微电子清洗工艺处理后烘干后备用；（２）金属微电铸：在经（１）步骤处理后的基片上形成具有所需结构与排列特 征的金属电极结构的光刻胶微铸模，并在微铸模中电镀金属材料构成金属微构型；（３）丝网印刷一维纳米材料浆料：包括制备一维纳米材料浆料，并采用丝网印刷方法将一维纳米材料浆料涂敷在步骤（２）所形成的金属微构型结构的侧壁和表面。（４） 微结构固化成型：通过加热和保温处理，去除步骤（３）中形成的一维纳米材...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：侯中宇，张亚非，蔡炳初，徐东，魏星，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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