利用激光束的识别码的打印方法和装置制造方法及图纸

在利用激光束对平台上的被标记物品打印识别码的方法和装置中，使从曝光单元输出的激光束在与对上述平台相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描，同时使该照射方向与上述相对移动方向同步地偏移，从而使上述被标记物品上的照射点排列成直角坐标状。另外，其它的打印方法和装置是在１个曝光单元沿相对移动方向移动１个间距的期间打印多列识别码的方法和装置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用激光束在被标记物品上打印识别码的打印方法和装置，更详细地说，涉及在液晶面板制造工序等中用激光束在涂敷光致抗蚀剂的基板上打印用于进行历程管理、品质管理等的识别码的打印方法和装置。
技术介绍
一般地说，在液晶面板制造工序中，对于涂敷了光致抗蚀剂(即感光树脂)的玻璃基板，除用图形曝光装置对电路图形进行曝光外，在用识别码曝光装置对基板识别码、面板识别码等进行曝光，或者利用周边曝光装置对基板周边部分的不需要的抗蚀剂部分进行曝光后，利用显影装置进行显影处理。通过将进行过这样显影处理的玻璃基板分割成多块，制作液晶面板。图28例示了如上所述在曝光处理后进行了显影处理的玻璃基板。在进行曝光以使多块液晶面板51在玻璃基板50上排成多列的同时，在基板周边打印了用于进行历程管理、品质管理等的基板识别码50a。另外，在玻璃基板50上还打印了在分割成多块液晶面板51后对各液晶面板51附加排列编号等以便可以对特定的液晶面板51进行识别的面板识别码51a，还打印了对各纵列附加分断位置信息等以便可以以纵列为分断单位管理各液晶面板51的分断基板识别码50b。如上所述，在将大型的玻璃基板50分离成多块小型液晶面板51进行制造的场合，需要分断基板识别码50b、面板识别码51a。但是，不言而喻，这里的基板识别码50a、分断基板识别码50b、面板识别码51a等称谓、分割数等终究是一个例子，它们随液晶面板的种类等变化。现在，作为打印上述基板识别码50a、分断基板识别码50b、面板识别码51a等识别码的方法，采用如下的方法对固定在恒定位置上的曝光单元，一边利用NC控制使承载玻璃基板的平台以恒定的速度移动，一边借助于将激光束分支成多束、使这些多条激光束对玻璃基板上的规定位置进行选择照射，藉此来打印识别码。但是，现有的打印方法由于如上所述在将1条激光束分支成多束、使该多条激光束对玻璃基板上的规定位置进行选择照射时，是一边使承载玻璃基板的平台相对移动，一边进行的，因而往往发生光束相互间的照射点偏离，由于该偏离往往在光束形状、能量方面产生分散，不能够将识别码打印成均匀的浓度、形状。另外，现有的打印方法由于一边使具有了激光束照射机构的曝光单元与承载基板的平台相对移动，一边逐列扫描照射识别码以进行打印，所以当液晶面板进行小型化、在每一块基板上排列的面板数增多时，扫描照射次数必然增加，因而存在生产率降低的问题。作为防止生产率降低的措施，虽然可以考虑增加对每台打印装置设置的曝光单元的数目，但若只是增加设置数，则产生需要扩大设置部位、装置变得庞大的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供当一边使曝光单元与平台相对移动，一边用激光束打印识别码时，可以将该识别码打印成均匀的浓度、形状的利用激光束的识别码的打印方法和装置。本专利技术的另一个目的在于提供不使装置庞大而能高效率地打印识别码，并提高生产率的利用激光束的识别码的打印方法和装置。达到上述前一个目的的本专利技术的识别码的打印方法，是使承载被标记物品的平台与在该平台上方配置的曝光单元相对移动，利用从上述曝光单元输出的激光束在上述被标记物品上打印识别码的方法，其特征在于使从上述曝光单元输出的激光束在与上述相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描，同时使该照射方向偏离上述相对移动方向，使上述被标记物品上的照射点按直角坐标排列。实施上述方法的本专利技术的打印装置的特征在于，用如下一些装置构成上述曝光单元可以使承载被标记物品的平台与在该平台上方配置的曝光单元相对移动，使从该曝光单元输出的激光束在与上述相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描的光束偏转装置；以及使被该光束偏转装置偏转了的激光束的照射方向偏离上述相对移动方向的方向校正装置。另外，达到上述前一个目的的本专利技术的另一打印方法，是使承载被标记物品的平台与在该平台上方配置的曝光单元相对移动，利用从上述曝光单元输出的激光束在上述被标记物品上打印识别码的方法，其特征在于使上述平台或该平台上的被标记物品的表面的直角坐标对上述相对移动方向倾斜，借助于使从上述曝光单元输出的激光束在与上述相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描，使上述被标记物品上的照射点按直角坐标排列。实施上述另一打印方法的本专利技术的装置的特征在于，用如下一些装置构成上述曝光单元可以使承载被标记物品的平台与在该平台上方配置的曝光单元相对移动，同时使上述平台或该平台上的被标记物品的表面的直角坐标对上述相对移动方向倾斜，借助于使从该曝光单元输出的激光束在与上述相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描的光束偏转装置；将被该光束偏转装置偏转了的激光束进行放大的投影光学装置；以及改变从该投影光学装置发出的激光束的照射方向的方向校正装置。按照上述的本专利技术，由于使从曝光单元输出的激光束在同曝光单元与平台的相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏转分支进行扫描，并对照射方向进行校正，以便消除同该相对移动方向正交的方向上相邻的光束之间的照射时间差的偏离，所以各光束的能量分布、形状无大幅度的变动，可以打印形状、浓度均匀的识别码。另外，达到上述后一个目的的本专利技术的识别码的打印方法，是一边使承载被标记物品的平台与在该平台上方配置的曝光单元相对移动，一边从上述曝光单元将激光束照射在上述被标记物品上，在相对移动方向上按规定的间距将多个识别码打印成多列的矩阵状的方法，其特征在于在上述1个的曝光单元沿相对移动方向移动1个间距的期间打印多列的识别码。另外，实施上述打印方法的本专利技术的装置的特征在于将承载被标记物品的平台与在该平台上方配置的曝光单元设置成可以相对移动，对上述曝光单元设置在上述被标记物品上在相对移动方向上按规定的间距将多个识别码打印成多列的矩阵状的激光束照射机构；同时对该激光束照射机构设置使激光束的照射方向在与上述相对移动方向交叉的方向上变更的角度变更装置。按照上述本专利技术，由于利用曝光单元相对移动1个间距的期间的空闲期间打印邻接的列的识别码，并打印了多个列，所以在与现有的打印方法相同的、相对移动1个间距的期间，可以打印两倍以上数目的识别码。因此，不增加曝光单元数量等以免装置庞大，也能实现生产量的增加。附图说明图1是例示出本专利技术的识别码的打印装置的概略图。图2是示出本专利技术中使用的激光束的一个例子的输出曲线图。图3的(a)～(d)是示出用本专利技术的装置中的光束偏转机构对激光束进行偏转操作的状态的说明图。图4是示出本专利技术的装置中激光束对基板进行曝光的状态的说明图。图5是示出本专利技术的装置中改变激光束的照射方向的平面镜反射机构的说明图。图6是示出本专利技术的装置中改变激光束的照射方向的另一平面镜反射机构的说明图。图7是示出本专利技术的装置中改变激光束的照射方向的又一平面镜反射机构的说明图。图8是示出不用本专利技术的方法的对基板的曝光方法的说明图。图9是示出利用本专利技术的方法的对基板的曝光方法的说明图。图10是示出利用本专利技术的方法的对基板的曝光方法的另一例的说明图。图11是示出本专利技术中使用的连续输出的激光束的偏转角度随时间变化的状态的图。图12是示出本专利技术中不使偏转了的光束形成平行光而只用投影透镜对其进行聚光的情形的说明图。图13是例示出本专利技术的利用激光束的打印装置的另一例的概略图。图14是示出图13的装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用激光束的识别码的打印方法，它是一边使承载被标记物品的平台与在该平台上方配置的曝光单元相对移动，一边从上述曝光单元将激光束照射在上述被标记物品上，在相对移动方向上按规定的间距将多个识别码打印成多列的矩阵状的方法，其特征在于：在 上述１个曝光单元沿相对移动方向移动１个间距的期间打印多个列的识别码。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤谦二，森诚树，植原幸大，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]