光刻胶膜卷材及其制造方法技术

本发明专利技术提供光刻胶膜卷材及其制造方法，该光刻胶膜卷材在感光性树脂层具有流动性且柔软的情况下可以防止冷流，在感光性树脂层硬的情况下可以抑制切断时产生碎片。光刻胶膜卷材中，按照感光性树脂层（２）的宽度小于支持膜（１ａ）的宽度的形式进行涂布，并且按照感光性树脂层（２）的宽度小于保护膜（１ｂ）的宽度的形式进行粘接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请的专利技术涉及在保存稳定性和对颗粒的抑制方面优异的光刻胶 膜巻材。
技术介绍
制造印刷电路基板所用的光刻胶膜为感光性树脂层夹在透光性支持 膜和保护膜间的层积膜的形式，在使用时， 一边剥下保护膜一边将感光 性树脂层层叠在印刷电路基板上，经图案掩模选择性地曝光，实施显影 处理后在印刷电路板上形成图像。使用这样的光刻胶膜的图案形成被称作干膜抗蚀(dry film resist),以与使用感光性树脂组合物溶液的以往的湿 式方式相区別。但是，这样的光刻胶膜通常被制成巻为巻材状的产品，在接近巻材 的中心部的部位受到外部的压力，从而感光性树脂从膜端部渗出，出现 被称为冷流(coldflow)的现象，而成为问题。为了解决这样的问题，下述专利文献1中公开了在端面粘合保护用 的树脂片和片状干燥剂的光刻胶膜巻材。专利文献l:日本特开2001-188319号公报但是，对于这样的光刻胶膜巻材，由于需要另外准备保护材料，而 产生成本方面的问题。并且，现有技术中，渗出的感光性树脂在层叠时剥落而飞散，导致 形成颗粒、污染层叠巻材等不良后果。相反，在感光性树脂层较硬以防 渗出的情况下将主巻材(master roll)沿缝隙切割(slit cut)为一个个巻材时或 切断光刻胶膜巻材以将其加工成片状时，在感光性树脂层截面上感光性 树脂成为碎片而飞散，并形成颗粒，导致不良结果。
技术实现思路
鉴于上述课题，本申请专利技术的目的在于提供一种光刻胶膜巻材，其 具有月以上的单位的长期保存性，并且优选其抑制了颗粒的产生。本申请专利技术所涉及的光刻胶膜巻材是用于在基板上形成感光性树脂 图案的光刻胶膜巻材，其特征在于，在依次由支持膜、感光性树脂层、 保护膜形成的光刻胶膜巻材中，上述支持膜和上述保护膜的宽度大于上 述感光性树脂层的宽度，并且上述感光性树脂的宽度方向的两端位于上 述支持膜和上述保护膜的宽度方向的两端的内侧。另外，本申请专利技术所涉及的光刻胶膜巻材的特征在于，从上述感光 性树脂的宽度方向的两端到上述支持膜和上述保护膜的宽度方向的两端的距离均为lmm以上。本申请专利技术所涉及的光刻胶膜巻材的制造方法是制造用于在基板上 形成感光性树脂图案并依次由支持膜、感光性树脂层、保护膜形成的光 刻胶膜巻材的制造方法，该制造方法的特征在于，在上述支持膜上涂布 上述感光性树脂层，在所涂布的感光性树脂层上贴合上述保护膜，从而 制造光刻胶膜巻材，所制造的光刻胶膜巻材的特征在于，上述支持膜和 上述保护膜的宽度大于上述感光性树脂层的宽度，并且上述感光性树脂 的宽度方向的两端位于上述支持膜和上述保护膜的宽度方向的两端的内 侧。并且，本申请专利技术所涉及的光刻胶膜巻材的制造方法的特征在于， 对上述支持膜平行地涂布1列以上的上述感光性树脂层从而制造第一光 刻胶膜巻材，以及切断上述第一光刻胶膜巻材制造1巻以上的第二光刻 胶膜巻材。通过使用本申请专利技术所涉及的光刻胶膜巻材，在常温长期保存时不 会发生冷流，并且切断加工时也不产生碎片。附图说明图1是本申请专利技术的光刻胶膜巻材整体的简图。图2是图1的展开片的截面放大图。图3是主巻材的示例的整体简图。图4是图3的展开片的截面放大图。具体实施例方式以下，依照附图详细说明本申请的专利技术。图1、图3是本申请专利技术 的光刻胶膜巻材的简图，图2是与图1的X,-X2线对应的截面图，图4 是与图3的X3-X4线对应的截面图。此外，本申请专利技术中所谓"丙烯酸/ 甲基丙烯酸"是指丙烯酸和与其对应的甲基丙烯酸，所谓的"丙烯酸酯/ 甲基丙烯酸酯"是指丙烯酸酯和与其对应的甲基丙烯酸酯，所谓的"丙烯 酰基/甲基丙烯酰基"是指丙烯酰基和与其对应的甲基丙烯酰基，所谓的 "丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基"是指丙烯酰氧基和与其对应的甲基丙烯 酰氧基。另外，本申请专利技术中所谓"主巻材"是指作为制造本申请专利技术的 光刻胶膜巻材(第二光刻胶膜巻材)的前阶段而制造的光刻胶膜巻材(第一 光刻胶膜巻材)。图1和图2中，本申请专利技术的光刻胶膜巻材是通过涂布一列宽度小 于膜l(由支持膜la和保护膜lb构成)的宽度的感光性树脂层2制造成的。 支持膜la例如为聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂膜，但不限于此；保护膜lb 例如为聚乙烯树脂膜，但不限于此。本申请专利技术的光刻胶膜巻材按照感光性树脂层的端侧较支持膜和保 护膜的端侧短lmm以上、更优选5mm以上的方式进行涂布，从长期保 存时抑制冷流的方面来看，其是优选的。此外，由于上述构成可以在不 切断感光性树脂层的情况下进行切断以加工光刻胶膜巻材的宽度，所以 可以抑制直接切断感光性树脂层而导致的碎片的产生，从这一方面来说 上述构成也是优选的。另外，图3和图4是本申请专利技术的主巻材的例子，其中涂布了两列 宽度小于膜3(由支持膜3a和保护膜3b构成)的宽度的感光性树脂层4。 对其进行加工，沿剪裁线5仅切断膜3而不切断感光性树脂层4，从而可 以制造图1和图2所示的光刻胶膜巻材。这样，通过对一个主巻材进行 两列以上感光性树脂层的涂布，可以与现有技术的主巻材同样地由单个主巻材生产两巻以上的光刻胶膜巻材。并且，通过适宜调整此时两列以 上的感光性树脂层各自的宽度，可以由单个主巻材制造出两巻以上任意 宽度的光刻胶膜巻材。一般来说，感光性元件例如通过在支持体上涂布感光性树脂组合物 并进行干燥而得到，并进一步根据需要在上述感光性树脂组合物层的与 支持体相反一侧的面上层积保护膜。上述支持膜和上述保护膜在例如厚度、宽度、材质、透湿性等要素 方面没有特别限制。此外，对于感光性树脂层，除要求满足上述支持膜 和上述保护膜的宽度大于上述感光性树脂层的宽度、上述感光性树脂的 宽度方向的两端位于上述支持膜和上述保护膜的宽度方向的两端的内侧 以外，并没有特别的限制。作为上述膜，可举出例如聚酯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚氯乙烯、尼 龙、聚碳酸酯、聚乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯纤维素三乙酸酯、氯化 乙烯-偏二氯乙烯共聚物、赛璐玢等的膜。从透明性的观点出发，优选使 用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜等。并且，也可以使用蒸镀膜，可举出将无机粉末等具有吸水能力或吸 湿能力的物质蒸镀在上述膜上而成的膜等。作为上述无机粉末，可举出例如，活性氧化铝、硅胶、氢氧化钾、 氯化钙、氧化药、溴化钙、硫酸钙、石棉、锌、氯化锌、溴化锌、氧化 镁、氯酸镁、硫酸铜、氧化钡、沸石、蒙脱石、活性炭、粘土、玻璃棉、 硅藻土、分子筛、沸石、硅胶、蒙脱石等。这些可以单独使用，或两种 以上组合使用。作为上述膜，例如可获得下述物质铝箔、铝蒸镀膜、FINE BARRIER AT(商品名，在聚酯膜上蒸镀氧化铝而得的物质，(株)丽光制造)、亍、7夕 /《U了S、亍:y夕/《i;7T、亍、;/夕/《y 7H、 x y夕/《!J 7 V(商品名， 二氧化硅蒸镀膜、三菱化学兴人PAX(株)制造)、FINE BARRIER AT(商品名， (株)丽光制造)与B-PE(黑聚乙烯)膜的干燥层压品、在OPP(双向拉伸聚丙烯 膜)上涂布有遮光用油墨的膜与VMCPP(蒸镀有铝的单向拉伸聚丙烯膜)的 干燥层压品等。此外，上述干燥层压是指如下操作在两膜间涂布粘结剂，于温度40℃ 60℃左右热压合，在室温预老化约24小时 72小时后在约 30℃ 50℃正式老化12小时 36小时左右。本专利技术的感光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻胶膜卷材，其用于在基板上形成感光性树脂图案并依次由支持膜、感光性树脂层、保护膜形成，该光刻胶膜卷材的特征在于，所述支持膜和所述保护膜的宽度大于所述感光性树脂层的宽度，并且所述感光性树脂的宽度方向的两端位于所述支持膜和所述保护膜的宽度方向的两端的内侧。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：植松照博，高桥亨，斋藤宏二，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]