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光刻胶膜卷材及其制造方法技术
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文档序号:2744178
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本发明提供光刻胶膜卷材及其制造方法,该光刻胶膜卷材在感光性树脂层具有流动性且柔软的情况下可以防止冷流,在感光性树脂层硬的情况下可以抑制切断时产生碎片。光刻胶膜卷材中,按照感光性树脂层(2)的宽度小于支持膜(1a)的宽度的形式进行涂布,并且按...
该专利属于东京应化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。
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