一种扩散炉风冷散热架体制造技术

本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，且公开了一种扩散炉风冷散热架体，解决了一般在对扩散炉进行散热的过程中，仅通过固定安装的风扇对其进行散热，由于扩散炉的体积较大，故对其的散热效果较差的问题，其包括安装架，所述安装架的顶端固定安装有支座和安装座；本实用新型专利技术，通过设置的风机、输气管、驱动电机、转杆、连杆和滑块等的配合使用，风力通过输气管输送到出气管内部，然后通过出气嘴喷出，同时使转杆绕安装座的顶端转动，转杆通过连杆带动滑块在滑槽内滑动，滑块带动安装板的一端绕支座进行一定角度的上下运动，循环动作，从而能够使出气嘴进行一定角度的摆动，从而对扩散炉进行多方位的散热处理，散热效果良好。散热效果良好。散热效果良好。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉风冷散热架体


[0001]本技术属于扩散炉
，具体为一种扩散炉风冷散热架体。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]一般在对扩散炉进行散热的过程中，需要将风扇固定安装在散热架体上，但是仅通过固定安装的风扇对其进行散热，由于扩散炉的体积较大，故对其的散热效果较差。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种扩散炉风冷散热架体，有效的解决了一般在对扩散炉进行散热的过程中，仅通过固定安装的风扇对其进行散热，由于扩散炉的体积较大，故对其的散热效果较差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扩散炉风冷散热架体，包括安装架，所述安装架的顶端固定安装有支座和安装座，支座的顶端转动连接有安装板，安装板的顶端固定安装有管卡，管卡的内部卡接有输气管，输气管的一端固定连接有出气管，出气管上等距固定安装有出气嘴，安装座的顶端转动连接有转杆，转杆的一端转动连接有连杆，连杆的一端固定连接有滑块，滑块滑动安装于滑槽的内部，滑槽开设于安装板的底端。
[0006]优选的，所述安装架的底端一侧固定安装有风机，风机的出风端与输气管的内部连通。
[0007]优选的，所述安装座的顶端还转动安装有大齿轮，且大齿轮与转杆的一端通过销轴固定连接。
[0008]优选的，所述安装架的底端另一侧固定安装有驱动电机，驱动电机的输出轴上安装有小齿轮，小齿轮通过链条与大齿轮传动连接。
[0009]优选的，所述转杆、连杆和安装板均位于安装架的外部。
[0010]优选的，所述安装架的两侧均固定安装有固定块，固定块的中部均开设有安装孔。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]在工作中，通过设置的风机、输气管、驱动电机、转杆、连杆和滑块等的配合使用，当需要进行散热时，通过风机产生风力，通过输气管输送到出气管内部，然后通过出气嘴喷出，同时通过驱动电机带动其输出轴上的小齿轮转动，小齿轮通过链条带动大齿轮转动，从而使转杆绕安装座的顶端转动，转杆通过连杆带动滑块在滑槽内滑动，滑块带动安装板的一端绕支座进行一定角度的上下运动，循环动作，从而能够使出气嘴进行一定角度的摆动，从而对扩散炉进行多方位的散热处理，散热效果良好。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用
新型的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术的安装板安装结构示意图；
[0016]图3为本技术的出气管安装结构示意图；
[0017]图中：1、安装架；2、支座；3、安装座；4、安装板；5、管卡；6、输气管；7、出气管；8、出气嘴；9、转杆；10、连杆；11、滑块；12、滑槽；13、风机；14、驱动电机；15、大齿轮；16、链条。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例一，由图1、图2和图3给出，本技术包括安装架1，安装架1的顶端固定安装有支座2和安装座3，支座2的顶端转动连接有安装板4，安装板4的顶端固定安装有管卡5，便于对输气管6进行安装，管卡5的内部卡接有输气管6，输气管6的一端固定连接有出气管7，便于对空气进行输送，出气管7上等距固定安装有出气嘴8，安装座3的顶端转动连接有转杆9，转杆9的一端转动连接有连杆10，连杆10的一端固定连接有滑块11，滑块11滑动安装于滑槽12的内部，滑槽12开设于安装板4的底端，能够带动安装板4上下运动。
[0020]实施例二，在实施例一的基础上，安装架1的底端一侧固定安装有风机13，风机13的出风端与输气管6的内部连通，能够通过风机13提供动力。
[0021]实施例三，在实施例一的基础上，安装座3的顶端还转动安装有大齿轮15，且大齿轮15与转杆9的一端通过销轴固定连接，能够通过大齿轮15带动转杆9转动。
[0022]实施例四，在实施例一的基础上，安装架1的底端另一侧固定安装有驱动电机14，驱动电机14的输出轴上安装有小齿轮，小齿轮通过链条16与大齿轮15传动连接，能够通过驱动电机14提供动力。
[0023]实施例五，在实施例一的基础上，转杆9、连杆10和安装板4均位于安装架1的外部，便于工作人员对其进行安装。
[0024]实施例六，在实施例一的基础上，安装架1的两侧均固定安装有固定块，固定块的中部均开设有安装孔，便于工作人员对安装架1进行固定。
[0025]工作原理：工作时，首先将安装架1安装在扩散炉上适合的位置处，当需要进行散热时，通过风机13产生风力，通过输气管6输送到出气管7内部，然后通过出气嘴8喷出，同时通过驱动电机14带动其输出轴上的小齿轮转动，小齿轮通过链条16带动大齿轮15转动，从而使转杆9绕安装座3的顶端转动，转杆9通过连杆10带动滑块11在滑槽12内滑动，滑块11带动安装板4的一端绕支座2进行一定角度的上下运动，循环动作，从而能够使出气嘴8进行一定角度的摆动，从而对扩散炉进行多方位的散热处理，散热效果良好。
[0026]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要
素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0027]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉风冷散热架体，包括安装架(1)，其特征在于：所述安装架(1)的顶端固定安装有支座(2)和安装座(3)，支座(2)的顶端转动连接有安装板(4)，安装板(4)的顶端固定安装有管卡(5)，管卡(5)的内部卡接有输气管(6)，输气管(6)的一端固定连接有出气管(7)，出气管(7)上等距固定安装有出气嘴(8)，安装座(3)的顶端转动连接有转杆(9)，转杆(9)的一端转动连接有连杆(10)，连杆(10)的一端固定连接有滑块(11)，滑块(11)滑动安装于滑槽(12)的内部，滑槽(12)开设于安装板(4)的底端。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉风冷散热架体，其特征在于：所述安装架(1)的底端一侧固定安装有风机(13)，风机(13)的出风端与输气管...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，林凡辉，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：