滚刷从动组件制造技术

本申请涉及晶片清洗设备技术领域，尤其是涉及一种滚刷从动组件，包括承载构件、限位导向构件、弹性复位机构、连接组件以及滚刷；其中，限位导向构件连接于承载构件，弹性复位机构滑动连接于限位导向构件；滚刷位于连接组件的一端部，且滚刷通过连接组件转动连接于弹性复位机构；弹性复位机构位于连接组件的侧部。可见，本滚刷从动组件与刷洗箱装拆过程极其简单，而且滚刷与连接组件之间不再设置有弹簧，减少了滚刷从动组件的长度，进而减小了机械手的长度，降低成本投入，同时使得晶片传送过程更稳定，传送效率更高。传送效率更高。传送效率更高。

【技术实现步骤摘要】
滚刷从动组件


[0001]本申请涉及晶片清洗设备
，尤其是涉及一种滚刷从动组件。

技术介绍

[0002]目前，晶片湿法清洗设备内的清洗刷组件，其包括轴系结构和滚刷，滚刷通过轴系结构转动连接于承载基板，其中滚刷的长度方向与轴系结构的轴线方向相同，而且为了便于清洗刷组件的组装，沿着轴系结构的轴线延伸方向，轴系结构和滚刷之间还连接有弹簧，当沿着轴线方向推动滚刷时，压缩弹簧至满足滚刷的另一端具备能够卡接到待装配端后即具备卡接空间量后松手，可见，这种结构导致了清洗刷组件整体过长，由于实际清洗晶片时，由机械手向清洗刷组件输送晶片，由于压缩弹簧加长了轴系结构，导致沿着轴线的延伸方向的机械手的长度也相应增加，不仅成本投入高，而且导致晶片传送不稳定，运行效率也降低。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种滚刷从动组件，在一定程度上解决了现有技术中存在的清洗刷组件的轴系结构和滚刷之间还连接有弹簧，加长了轴系结构，进而导致沿着轴线的延伸方向的机械手的长度也相应增加，不仅成本投入高，而且导致晶片传送不稳定，运行效率也降低的技术问题。
[0004]本申请提供了一种滚刷从动组件，包括：承载构件、限位导向构件、弹性复位机构、连接组件以及滚刷；其中，所述限位导向构件连接于所述承载构件，所述弹性复位机构滑动连接于所述限位导向构件；
[0005]所述滚刷位于所述连接组件的一端部，且所述滚刷通过所述连接组件转动连接于所述弹性复位机构；
[0006]所述弹性复位机构位于所述连接组件的侧部；
[0007]当朝向所述连接组件推动所述滚刷时，所述弹性复位机构被挤压并抵靠于所述限位导向构件，且同时所述弹性复位机构积聚能量，而后在所述滚刷被释放时，所述弹性复位机构推动所述滚刷朝向远离所述连接组件的方向运动。
[0008]在上述技术方案中，进一步地，所述弹性复位机构包括滑动构件、施力构件以及弹性构件；其中，所述滑动构件滑动连接于所述限位导向构件；
[0009]所述限位导向构件形成有贯穿其一侧部的容纳空间，所述施力构件设置于所述容纳空间内，且所述施力构件的一端穿过所述容纳空间的侧部开口连接于所述滑动构件；
[0010]所述弹性构件也设置于所述容纳空间内，且所述弹性构件的一端连接于所述限位导向构件，所述弹性构件的相对的另一端连接于所述施力构件。
[0011]在上述任一技术方案中，进一步地，所述连接组件包括从动转动构件、间隙消除构件、第一轴承以及第二轴承；其中，所述导向构件形成有贯穿其两侧部的安装腔，所述连接组件设置于所述安装腔内；
[0012]所述从动转动构件设置于所述限位导向构件的安装腔内，且所述从动转动构件的一端穿过所述安装腔的一侧开口与所述滚刷相连接；
[0013]所述第一轴承、所述间隙消除构件以及所述第二轴承依次套设于所述从动转动构件的外部，且所述从动转动构件通过所述第一轴承和所述第二轴承转动连接于所述限位导向构件。
[0014]在上述任一技术方案中，进一步地，所述滚刷从动组件还包括第一压盖，所述第一压盖封盖于所述限位导向构件的安装腔的一侧部开口处，且所述第一压盖与所述从动转动构件相连接；
[0015]所述第一压盖压设于所述第一轴承的远离所述第二轴承的一侧部，所述第二轴承的远离所述第一轴承的一侧部被压设而抵靠于所述安装腔的侧壁。
[0016]在上述任一技术方案中，进一步地，所述滑动构件形成有流通通道，所述滚刷从动组件还包括导流管件，所述导流管件的一端插设于所述滑动构件的流通通道的一端内，且所述导流管件的一端与所述滑动构件相连接，所述导流管件的相对的另一端插设于所述从动转动构件所开设的引流通道内。
[0017]在上述任一技术方案中，进一步地，所述滚刷从动组件还包括进水接头，所述进水接头与所述第一压盖相连接，且所述进水接头与所述流通通道的相对的另一端相连通。
[0018]在上述任一技术方案中，进一步地，所述导流管件的一端与所述滑动构件螺纹连接。
[0019]在上述任一技术方案中，进一步地，所述限位导向构件开设有分别与外界以及所述容纳空间相连通的安装口，所述弹性构件的一端插设在所述安装口内；
[0020]所述滚刷从动组件还包括第二压盖，所述第二压盖将所述弹性构件的一端封盖在所述安装口内。
[0021]在上述任一技术方案中，进一步地，所述施力构件与所述滑动构件通过紧固件相连接。
[0022]在上述任一技术方案中，进一步地，所述弹性构件为弹簧。
[0023]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0024]本申请提供的滚刷从动组件，既能够被轻松地组装于刷洗箱内，也能够被轻松地拆卸下来，操作极其简单、方便，除了能够达到与现有滚刷从动组件能够被组装于刷洗箱内的效果外，本申请的滚刷从动组件还具有如下的优点，滚刷与连接组件之间不再设置有弹簧，减少了滚刷从动组件的长度，进而减小了机械手的长度，降低成本投入，同时使得晶片传送过程更稳定，传送效率更高。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本申请实施例提供的滚刷从动组件的结构示意图；
[0027]图2为本申请实施例提供的滚刷从动组件的局部剖示图；
[0028]图3为本申请实施例提供的限位导向构件的结构示意图；
[0029]图4为本申请实施例提供的滑动构件的结构示意图；
[0030]图5为本申请实施例提供的施力构件的结构示意图。
[0031]附图标记：
[0032]1-承载构件，2-限位导向构件，21-容纳空间，22-安装口，3-弹性复位机构，31-滑动构件，311-安装腔，32-施力构件，321-安装孔，33-弹性构件，4-连接组件，41-从动转动构件，411-引流通道，42-间隙消除构件，43-第一轴承，44-第二轴承，5-滚刷，6-第一压盖，61-流通通道，7-导流管件，8-进水接头，9-第二压盖。
具体实施方式
[0033]下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0034]通常在此处附图中描述和显示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。
[0035]基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0036]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滚刷从动组件，其特征在于，包括：承载构件、限位导向构件、弹性复位机构、连接组件以及滚刷；其中，所述限位导向构件连接于所述承载构件，所述弹性复位机构滑动连接于所述限位导向构件；所述滚刷位于所述连接组件的一端部，且所述滚刷通过所述连接组件转动连接于所述弹性复位机构；所述弹性复位机构位于所述连接组件的侧部；当朝向所述连接组件推动所述滚刷时，所述弹性复位机构被挤压并抵靠于所述限位导向构件，且同时所述弹性复位机构积聚能量，而后在所述滚刷被释放时，所述弹性复位机构推动所述滚刷朝向远离所述连接组件的方向运动。2.根据权利要求1所述的滚刷从动组件，其特征在于，所述弹性复位机构包括滑动构件、施力构件以及弹性构件；其中，所述滑动构件滑动连接于所述限位导向构件；所述限位导向构件形成有贯穿其一侧部的容纳空间，所述施力构件设置于所述容纳空间内，且所述施力构件的一端穿过所述容纳空间的侧部开口连接于所述滑动构件；所述弹性构件也设置于所述容纳空间内，且所述弹性构件的一端连接于所述限位导向构件，所述弹性构件的相对的另一端连接于所述施力构件。3.根据权利要求2所述的滚刷从动组件，其特征在于，所述连接组件包括从动转动构件、间隙消除构件、第一轴承以及第二轴承；其中，所述滑动构件形成有贯穿其两侧部的安装腔，所述连接组件设置于所述安装腔内；所述从动转动构件设置于所述限位导向构件的安装腔内，且所述从动转动构件的一端穿过所述安装腔的一侧开口与所述滚刷相连接；所述第一轴承、所述间隙消除构件以及所述第二轴承依次套设于所述从动转动构件的外部，且所述从动转动构件通过所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶利权，宋文超，于高洋，刘盈楹，王丽江，胡天水，张伟锋，闫芸，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：