注液装置、半导体检测系统及其检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种注液装置、半导体检测系统及其检测方法，用于注入液体至一半导体元件的一滴液检测区，注液装置包含：一基座、一储液槽、一第一检测管、一清洗管及一排液管。储液槽设置于基座上，储液槽具有至少一连接口及一滴液口，其中滴液口用以抵靠于半导体元件的滴液检测区。第一检测管、清洗管、与排液管与储液槽的至少一连接口连接，其中第一检测管用以注入一第一检测液至储液槽；清洗管用以注入一清洗液至储液槽，以清洗储液槽以及半导体元件的滴液检测区。排液管用以排除储液槽内的第一检测液或清洗液。使用上述注液装置的一种半导体检测系统及其检测方法亦于此处提出。本发明专利技术能提升检测效率及精确度，降低检测液污染半导体元件的风险。

【技术实现步骤摘要】
注液装置、半导体检测系统及其检测方法
本专利技术是有关一种注液装置、半导体检测系统及其检测方法，特别是一种注入液体至半导体芯片上进行检测的注液装置、半导体检测系统及其检测方法。
技术介绍
生物芯片为一种搭载有生物传感器(Bio-Sensor)的芯片结构，该生物传感器为使用固定化生物分子的结合换能器，用来检测生体内或生体外的环境化学物质或与之起交互作用后产生回应的一种装置。而生物传感器是一种可根据电学、电化学、光学及/或机械检测原理等基础进行操作，用来感应及检测生化物质的装置。生物芯片可以利用半导体工艺制造，并可快速地转换电子信号，故已被广泛应用于集成电路。一般来说，一半导体晶圆上包括有数十至数百个集成电路芯片。在电性量测中，为了避免溶液可能引起短路而造成附近的集成电路芯片受损，一般会先将晶圆切割成芯片，接着以人工方式将待测溶液滴在芯片的测试位置，然后利用探针量测取得电信号。然而，此种检测方法非常难以控制测试条件，人工方式造成检测结果的精确度与品质会受到质疑，且效率不好。有鉴于上述已知结构的缺失，制造符合成本效益又可达成检测精确度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种注液装置，其特征在于，用于注入液体至一半导体元件的一滴液检测区，该注液装置包含：/n一基座；/n一储液槽，设置于该基座上，该储液槽具有至少一连接口及一滴液口，其中该滴液口用以抵靠于该半导体元件的该滴液检测区；/n一第一检测管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以注入一第一检测液至该储液槽；/n一清洗管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以注入一清洗液至该储液槽，以清洗该储液槽以及该半导体元件的该滴液检测区；以及/n一排液管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以排除该储液槽内的该第一检测液或该清洗液。/n

【技术特征摘要】
20190705 TW 1081238241.一种注液装置，其特征在于，用于注入液体至一半导体元件的一滴液检测区，该注液装置包含：
一基座；
一储液槽，设置于该基座上，该储液槽具有至少一连接口及一滴液口，其中该滴液口用以抵靠于该半导体元件的该滴液检测区；
一第一检测管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以注入一第一检测液至该储液槽；
一清洗管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以注入一清洗液至该储液槽，以清洗该储液槽以及该半导体元件的该滴液检测区；以及
一排液管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以排除该储液槽内的该第一检测液或该清洗液。


2.如权利要求1所述的注液装置，其特征在于，更包含：
一第二检测管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以注入一第二检测液至该储液槽。


3.如权利要求2所述的注液装置，其特征在于，更包含：
一多通阀，其包含至少三个输入口以及一输出口，其中该第一检测管、该第二检测管以及该清洗管分别与该至少三个输入口连接，且该输出口与该储液槽的该至少一连接口连接。


4.如权利要求1所述的注液装置，其特征在于，更包含：
一多通阀，其包含至少二个输入口以及一输出口，其中该第一检测管以及该清洗管分别与该至少二个输入口连接，且该输出口与该储液槽的该至少一连接口连接。


5.如权利要求1所述的注液装置，其特征在于，更包含：
一多通阀，其包含至少三个输入口以及一输出口，其中该第一检测管、该清洗管以及该排液管分别与该至少三个输入口连接，且该输出口与该储液槽的该至少一连接口连接。


6.如权利要求1所述的注液装置，其特征在于，更包含：
一缓冲件，其设置于该储液槽的该滴液口，用以抵靠于该半导体元件的该滴液检测区。


7.如权利要求1所述的注液装置，其特征在于，该半导体元件为一晶圆、一单一晶粒或一半导体芯片封装体。


8.如权利要求1所述的注液装置，其特征在于，更包含一挡板，其选择性抵靠于该储液槽的该滴液口。


9.如权利要求1所述的注液装置，其特征在于，该滴液口有多个，且呈阵列排列。


10.一种半导体检测系统，其特征在于，包含：
一承载台，用以支撑一半导体元件，其中该半导体元件具有多个电极垫及一滴液检测区；
一测试件，设置于该承载台上方，该测试件包含多个导电部及至少一开口，用以检测该半导体元件的电信号，其中该开口对应于该滴液检测区；
一注液装置，包含：
一基座；
一储液槽，设置于该基座上，该储液槽具有至少一连接口及一滴液口；
一第一检测管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以注入一第一检测液至该储液槽；
一清洗管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以注入一清洗液至该储液槽，以清洗该储液槽以及该半导体元件的该滴液检测区；以及
一排液管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以排除该储液槽内的该第一检测液或该清洗液；
一制动元件，其与该注液装置连接，以驱动该注液装置的该滴液口抵靠于或远离该半导体元件的该滴液检测区；以及
一测试机台，与该测试件、该注液装置及该制动元件电连接，用以提供该测试件、该注液装置及该制动元件一电力及一测试信号至少其中之一。


11.如权利要求10所述的半导体检测系统，其特征在于，该注液装置更包含一第二检测管，其与该储液槽的该至少一连接口连接，用以注入一第二检测液至该储液槽。


12.如权利要求11所述的半导体检测系统，其特征在于，该注液装置更包含一多通阀，其包含至少三个输入口以及一输出口，其中该第一检测管、该第二检测管以及该清洗管分别与该至少三个输入口连接，且该输出口与该储液槽的该至少一连接口连接。


13.如权利要求10所述的半导体检测系统，其特征在于，该注液装置更包含一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伯龙，徐文元，
申请(专利权)人：汉民测试系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71