卡匣旋转设备和卡匣制造技术

本揭示提供一种卡匣旋转设备和卡匣。卡匣旋转设备包含：一平台；一卡匣，放置在所述平台上方，用于承载一基板；以及一转动元件，通过其一转轴可绕轴转动地设置在所述平台上且与所述卡匣的边缘接触，其中所述转动元件的转动可带动所述卡匣沿着其边缘旋转，使得所述基板在所述平台上方绕着垂直于所述基板的板面的一中心轴进行绕轴转动，并且使所述基板在所述卡匣内移动。

【技术实现步骤摘要】
卡匣旋转设备和卡匣
本揭示涉及一种旋转设备，特别是涉及一种卡匣旋转设备和适用于所述卡匣旋转设备的卡匣。
技术介绍
现有的湿式蚀刻或洗净工艺是通过将多个基板插放在卡匣内，再将卡匣放入装有蚀刻液或清洗液的槽体内，以进行批次性的基板蚀刻或洗净处理。然而，由于放置在卡匣内的基板会与卡匣的卡槽的槽壁接触，使得工艺液体无法接触到基板与卡匣相接处的表面，而导致基板的局部区域无法与工艺液体充分反应。因此，基板在经过蚀刻处理之后，会在基板的表面与卡匣对应接触的区域产生痕迹，导致蚀刻均匀度不良。再者，对于非圆形基板(例如矩形基板)来说，由于形状上的限制，非圆形基板无法在槽体内沿着其边缘转动。因此，非圆形基板尤其容易产生因为与卡匣保持接触而导致蚀刻不均匀的问题。有鉴于此，有必要提出一种卡匣旋转设备和适用于所述卡匣旋转设备的卡匣，以解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
为解决上述现有技术的问题，本揭示的目的在于提供一种卡匣旋转设备和适用于所述卡匣旋转设备的卡匣，通过卡匣旋转设备来驱使卡匣转动，以带动放置在卡匣内的基板会在一定范围内移动，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卡匣旋转设备，其特征在于，包含：/n一平台；/n一卡匣，放置在所述平台上方，用于承载一基板；以及/n一转动元件，通过其一转轴可绕轴转动地设置在所述平台上且与所述卡匣的边缘接触，其中所述转动元件的转动可带动所述卡匣沿着其边缘旋转，使得所述基板在所述平台上方绕着垂直于所述基板的板面的一中心轴进行绕轴转动，并且使所述基板在所述卡匣内移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种卡匣旋转设备，其特征在于，包含：
一平台；
一卡匣，放置在所述平台上方，用于承载一基板；以及
一转动元件，通过其一转轴可绕轴转动地设置在所述平台上且与所述卡匣的边缘接触，其中所述转动元件的转动可带动所述卡匣沿着其边缘旋转，使得所述基板在所述平台上方绕着垂直于所述基板的板面的一中心轴进行绕轴转动，并且使所述基板在所述卡匣内移动。


2.如权利要求1的卡匣旋转设备，其特征在于，所述卡匣旋转设备还包含：
一支架，设置在所述平台上方；以及
一基座，用于承载所述卡匣，其中所述基座可拆装地设置在所述支架上，用于将所述卡匣保持在所述平台上方。


3.如权利要求1的卡匣旋转设备，其特征在于，所述卡匣的所述边缘和所述转动元件的表面分别包含彼此啮合的齿轮啮合部。


4.如权利要求1的卡匣旋转设备，其特征在于，所述卡匣包含：
一对档板，彼此平行且间隔设置，其中所述对档板之间定义一用于放置所述基板的容置空间，以及其中所述转动元件与所述对档板的边缘接触；以及
多个限位杆，设置在所述对档板之间，用于将所述基板保持在所述容置空间内，以及其中每一所述限位杆上形成有一卡槽，用于提供所述基板插放于其内。


5.如权利要求4的卡匣旋转设备，其特征在于，当所述基板插放在所述卡匣内时，至少一所述限位杆的所述卡槽的槽底壁与所述基板的外侧边相隔一距离。


6.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄立佐，吴进原，张修凯，
申请(专利权)人：弘塑科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71