生物芯片测试系统技术方案

本发明专利技术提供一种生物芯片测试系统，包含一承载台、一注液装置、一探针卡以及一测试器。承载台用以承载一生物芯片，其包含至少一生物场效应晶体管以及与生物场效应晶体管电连接的一栅极导电接点、一漏极导电接点以及一源极导电接点。注液装置供应一待测液体至生物芯片的一检测区。探针卡包含多个探针，其用以与栅极导电接点、漏极导电接点以及源极导电接点选择性接触，其中与栅极导电接点接触的探针未接触待测液体。测试器测量生物场效应晶体管的一电信号的变化。上述生物芯片测试系统无需频繁更换栅极电极。换栅极电极。换栅极电极。

【技术实现步骤摘要】
生物芯片测试系统


[0001]本专利技术是有关一种芯片测试系统，特别是一种生物芯片的测试系统。

技术介绍

[0002]生物芯片(biochip)可利用电学及/或电化学等特性的变化来检测生物或环境物质。生物场效应晶体管(biological field
‑
effect transistor，BioFET)是生物芯片的重要元件之一。当检测目标物与生物场效应晶体管的栅极或固定于栅极上的接受器结合时，生物场效应晶体管的漏极电流会因栅极电压产生改变，并变化量依检测目标物的键结种类以及数量而有所不同，进而评估检测目标物的种类及/或数量。
[0003]与一般半导体芯片相同，生物芯片在制程中或制作完成后需经过完整的测试以剔除不合格品。但与一般半导体芯片不同的是，生物芯片的检测样品大多为液体，因此生物芯片的测试过程需要在生物芯片的检测区注入适当的液体进行测试。请参照图1，生物芯片的熟知测试方式是在生物芯片100的检测区注入待测液体L，并以探针21、22分别接触电连接生物场效应晶体管的源极以及漏极的导电接点101、102，以及以栅极电极2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生物芯片测试系统，其特征在于，包含：一承载台，用以承载一生物芯片或一晶圆，其包含至少一该生物芯片，其中该生物芯片包含至少一检测区以及一导电接点区，每一该检测区包含至少一生物场效应晶体管，以及该导电接点区包含与该生物场效应晶体管电连接的一栅极导电接点、一漏极导电接点以及一源极导电接点；一注液装置，其供应一待测液体至该生物芯片的该检测区以及自该检测区移除该待测液体；一探针卡，其包含多个探针，用以与该导电接点区内的该栅极导电接点、该漏极导电接点以及该源极导电接点选择性接触，其中与该栅极导电接点接触的探针未接触该待测液体；以及一测试器，其与该探针卡电连接，用以供应一电压至该生物场效应晶体管以及测量该生物场效应晶体管的一电信号的变化。2.根据权利要求1所述的生物芯片测试系统，其特征在于，更包含：一升降装置，其与该承载台以及该探针卡至少其中之...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨棋名，
申请(专利权)人：汉民测试系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：