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本发明提供一种注液装置、半导体检测系统及其检测方法，用于注入液体至一半导体元件的一滴液检测区，注液装置包含：一基座、一储液槽、一第一检测管、一清洗管及一排液管。储液槽设置于基座上，储液槽具有至少一连接口及一滴液口，其中滴液口用以抵靠于半导体...
该专利属于汉民测试系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过汉民测试系统股份有限公司授权不得商用。

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