【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种瞄靶系统，特别是一种为超短超快激光装置提供模拟光束、同 时对靶面焦斑进行监测的装置。
技术介绍
在超短超快激光装置中，激光束经靶镜聚焦后在靶面上形成一个焦斑，此焦斑 的形状、尺寸及其在靶面的位置精度对于激光打靶的效率起着关键的作用，所以对 靶镜的调校就显得十分重要。但是由于实际打靶的激光光束的发射时间很短，且功 率很高，不能用作调校光学元件的参考光束。因此，打靶前一般都采用连续发射的 模拟光束代替实际打靶光束作为参考光束来调校光学元件。在先技术中， 一般采用图1所示的结构的装置为超短超快激光装置提供模拟光 束，并对耙面焦斑的尺寸与位置进行监测。由激光光源1发出的一束细的平行光束 沿打靶光束的光轴导入靶室2，作为模拟光束，再经靶镜203聚焦到靶204上。由 靶204表面所产生的散射光透过窗口玻璃205，由长焦距显微镜3接收成像并显示 到监视器12上。上述在先技术的缺点是1. 提供的模拟光束口径远小于实际打靶光束，不能真实反映实际打靶光束经靶 镜聚焦后的焦斑情况，因此不能以模拟光束来对耙镜相对于靶面的位置进行精密调整。2. 普通长焦距显微镜的放大...
【技术保护点】
一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，其特征在于包括：平行激光束发射光路，包括激光光源（１）及沿该激光光源（１）的出射光方向依次的反射镜（４）、聚焦镜（５）、分光棱镜（６）和主物镜（７）构成，所述的聚焦镜（５）的焦点位于主物镜（７）的焦面上；靶面成像光路，由依次的主物镜（７）、分光棱镜（６）、由初级显微物镜（９）和次级变倍显微物镜（１０）组成，所述的主物镜（７）的焦点位于初级显微物镜（９）的物面上，初级显微物镜（９）的像平面与次级变倍显微物镜（１０）的物面重合；所述的平行激光束发射光路与靶面成像光路通过所述的分光棱镜（６）实现共光路；光轴对接系统（８），由第一反射镜（８０１）...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：任冰强，黄惠杰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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