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一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，包括平行激光束发射光路、靶面成像光路、光轴对接系统和图像接收系统。所述的平行激光束发射光路用来发射模拟光束，靶面成像光路接收靶面焦斑发出的散射光从而对靶面成像，光轴对接系统实现本发明靶面焦斑监测装置的光轴...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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