用于真空环境下的激光损伤监测装置制造方法及图纸

技术编号：41380552 阅读：19 留言：0更新日期：2024-05-20 10:22

本发明专利技术提供了一种用于真空环境下的激光损伤监测装置，包括真空腔体、位于真空腔体内的样品靶台、反射镜和镜头，位于真空腔体外的CCD探测器，以及与真空腔体连接的真空隔离窗口；其中，CCD探测器位于真空腔体的上方，镜头与CCD探测器在同一轴心线上，镜头朝向正下方，样品靶台用于放置待测光学元件，反射镜的镜面朝向待测光学元件的法线方向，反射镜用于将待测光学元件的辐照点图像转向传输至镜头，镜头同于采集辐照点图像的光线，并将光线通过真空隔离窗口传输至CCD探测器，CCD探测器用于根据光线投影出待测光学元件的辐照点图像。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及光学元件的激光损伤与寿命测试领域，尤其涉及一种用于真空环境下的激光损伤监测装置。

技术介绍

1、光学实验中存在一种损伤测试实验，需要测试自由电子激光对光学元件的损伤程度。对于自由电子激光，光束只能在高真空条件下传输，因而，所有测试过程必须在真空环境下开展。

2、现有的激光损伤监测装置主要依靠位于真空腔体内的真空ccd探测器采集激光辐照前和激光辐照后光学元件表面的图像，根据图像的变化量来确定光学元件的损伤程度。一方面，真空ccd探测器价格非常昂贵；另一方面，真空ccd探测器会受到真空腔体的腔壁限制，使测试的灵活调控能力受到极大限制，如果需要满足任意角度(0°≤θ＜90°)激光入射情况下的测试，则需要增大真空腔体，造成整体装置制造成本过高、操作复杂度提高。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题是提供一种用于真空环境下的激光损伤监测装置，解决现有装置无法满足任意角度激光入射情况下的测试。

2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种用于真空环境下...

【技术保护点】

1.一种用于真空环境下的激光损伤监测装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述样品靶台包括旋转底座，所述反射镜和所述镜头通过连接杆与所述旋转底座连接。

3.如权利要求2所述的激光损伤监测装置，其特征在于，还包括：

4.如权利要求3所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述控制模块与所述CCD探测器通信连接，所述控制模块还用于根据所述CCD探测器生成的辐照点图像分析所述待测光学元件的激光损伤情况。

5.如权利要求1所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述反射镜的直径≤25mm。