【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及光学元件的激光损伤与寿命测试领域，尤其涉及一种用于真空环境下的激光损伤监测装置。
技术介绍
1、光学实验中存在一种损伤测试实验，需要测试自由电子激光对光学元件的损伤程度。对于自由电子激光，光束只能在高真空条件下传输，因而，所有测试过程必须在真空环境下开展。
2、现有的激光损伤监测装置主要依靠位于真空腔体内的真空ccd探测器采集激光辐照前和激光辐照后光学元件表面的图像，根据图像的变化量来确定光学元件的损伤程度。一方面，真空ccd探测器价格非常昂贵；另一方面，真空ccd探测器会受到真空腔体的腔壁限制，使测试的灵活调控能力受到极大限制，如果需要满足任意角度(0°≤θ＜90°)激光入射情况下的测试，则需要增大真空腔体，造成整体装置制造成本过高、操作复杂度提高。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是提供一种用于真空环境下的激光损伤监测装置，解决现有装置无法满足任意角度激光入射情况下的测试。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种用于真空环境下的激光损伤监测装置，包括：真空腔体、位于真空腔体内的样品靶台、反射镜和镜头，位于真空腔体外的ccd探测器，以及与所述真空腔体连接的真空隔离窗口；其中，所述ccd探测器位于所述真空腔体的上方，所述镜头与所述ccd探测器在同一轴心线上，所述镜头朝向正下方，所述样品靶台用于放置待测光学元件，所述反射镜的镜面朝向所述待测光学元件的法线方向，所述反射镜用于将所述待测光学元件的辐照点图像转向传输至所述镜头，所
3、可选地，所述样品靶台包括旋转底座，所述反射镜和所述镜头通过连接杆与所述旋转底座连接。
4、可选地，还包括位于真空腔体外的控制模块，所述控制模块用于控制所述样品靶台的旋转底座旋转，以改变所述待测光学元件接受的激光入射角度；其中，所述反射镜和所述镜头随所述旋转底座一起转动。
5、可选地，所述控制模块与所述ccd探测器通信连接，所述控制模块还用于根据所述ccd探测器生成的辐照点图像分析所述待测光学元件的激光损伤情况。
6、可选地，所述反射镜的直径≤25mm。
7、可选地，所述真空隔离窗口的口径至少为所述镜头的直径的3倍。
8、可选地，所述反射镜与所述待测光学元件之间的距离至少为60mm。
9、可选地，所述镜头的物距为120mm～150mm。
10、可选地，还包括衰减片，衰减片位于所述ccd探测器之前，用于衰减所述光线的能量。
11、可选地，所述反射镜为45°反射棱镜。
12、与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
13、本专利技术的用于真空环境下的激光损伤监测装置，通过在待测光学元件的法线方向设置反射镜，将辐照点图像转向传输至镜头朝向正下方的镜头，使得装置可以满足任意角度(0°≤θ＜90°)激光入射情况下的测试；本专利技术的激光损伤监测装置采用普通ccd探测器，将普通ccd探测器设置在真空腔体外部，可以降低激光损伤监测装置的成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于真空环境下的激光损伤监测装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述样品靶台包括旋转底座，所述反射镜和所述镜头通过连接杆与所述旋转底座连接。
3.如权利要求2所述的激光损伤监测装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述控制模块与所述CCD探测器通信连接，所述控制模块还用于根据所述CCD探测器生成的辐照点图像分析所述待测光学元件的激光损伤情况。
5.如权利要求1所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述反射镜的直径≤25mm。
6.如权利要求1所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述真空隔离窗口的口径至少为所述镜头的直径的3倍。
7.如权利要求1所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述反射镜与所述待测光学元件之间的距离至少为60mm。
8.如权利要求1所述的激光损伤监测装置，其特征在于，所述镜头的物距为120mm～150mm。
9.如权利要求1所述的激光损伤监测装置，其特征在于，还包括：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。