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本发明提供了一种用于真空环境下的激光损伤监测装置，包括真空腔体、位于真空腔体内的样品靶台、反射镜和镜头，位于真空腔体外的CCD探测器，以及与真空腔体连接的真空隔离窗口；其中，CCD探测器位于真空腔体的上方，镜头与CCD探测器在同一轴心线上，...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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