聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪制造技术

一种聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪，其特征在于它共光轴地依次设有标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、ＣＣＤ摄像机，所述的扫描式哈特曼光阑安装在光阑支架上，该支架上方固定有编码器，下方装有步进电机，还有计算机，所述的ＣＣＤ摄像机、编码器和步进电机均与计算机相连，且ＣＣＤ可沿光轴方向移动；在计算机的控制下，通过步进电机驱动扫描式哈特曼光阑绕光轴旋转，同时该计算机接收ＣＣＤ摄像机输出的图像和编码器给出的扫描式哈特曼光阑的位置信息，并对图像进行数据处理。本实用新型专利技术具有检测精度高、速度快、评价像质手段多、功能多等优点，可用于指导光学元件加工、光路调整、评价聚焦镜的质量、入射光束与焦斑的质量等。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学元件质量检测，特别是一种聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪。
技术介绍
在先技术中，传统的哈特曼检验装置结构如图1所示，光源1发出的光线经聚光镜2照明小孔光阑3，从而获得点光源；小孔光阑3位于平行光管4的前焦点处，由小孔光阑3射出的光束经平行光管4准直为平行光束后，照射到哈特曼光阑5上，该平行光束被分割成许多具有不同高度的细光束对后射向被检元件6。通过照相方法在7、8位置处测量细光束中心与光轴的距离，通过分析得到像差信息。哈特曼光阑5的结构如图2所示，哈特曼光阑5上的小孔对与平行光管4的光轴呈对称分布。上述在先技术的缺点是1、对光阑制造精度要求高。由于是对被检元件的环带进行取样，所以光阑上同一高度的小孔要严格对称，从而对光阑的加工提出了很高的要求。2、取样密度受限。光阑上小孔之间的间距固定，只能以一定的密度进行取样，以致于不能检测到光阑上小孔之间的间隔位置所对应环带区域的误差信息，从而导致测量结果不完整，测量精度低。3、无法测量元件局部误差。所测得的误差只是被检元件不同高度上整个环带的面形误差，而元件的各个局部小区域的误差信息难以获得。4、测量时间长。传统方法通常采用照相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪，其特征在于它共光轴地依次设有标准平行光管（９）、扫描式哈特曼光阑（１０）、被检聚焦镜（１１）、可沿光轴移动的ＣＣＤ摄像机（１３），所述的扫描式哈特曼光阑（１０）安装在光阑支架上，该支架上方固定有编码器（１５），下方装有步进电机（１６），还有计算机（１４），所述的ＣＣＤ摄像机（１３）位于显微物镜（１２）的像面位置，所述的ＣＣＤ摄像机（１３）、编码器（１５）和步进电机（１６）均与计算机（１４）相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丹，阎岩，任冰强，黄惠杰，赵永凯，王向朝，张维新，王树森，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]