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一种聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪，其特征在于它共光轴地依次设有标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、ＣＣＤ摄像机，所述的扫描式哈特曼光阑安装在光阑支架上，该支架上方固定有编码器，下方装有步进电机，还有计算机，所述的ＣＣＤ摄像机、编码...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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