载板、载板加热装置及半导体设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种载板、载板加热装置及半导体设备，该载板加热装置包括至少一个加热单元，所述加热单元包括：支撑机构；固定轴，设置在所述支撑机构上，所述固定轴的轴向与载板的移动方向相互垂直；滚轮，套设在所述固定轴上，载板传输装置带动所述载板相对所述滚轮移动时，所述载板与所述滚轮相接触且所述滚轮相对所述固定轴转动，所述滚轮与电源连接。通过本发明专利技术保证了载板热量传导的均匀性，并提高了热传导效率。

【技术实现步骤摘要】
载板、载板加热装置及半导体设备
本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种载板加热装置及在线式半导体设备。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，简称PVD)设备在生产过程中会对基片进行加热，以提高基片的镀膜质量及效率。在真空中，非接触式热量传播方式主要为热辐射。实际生产过程中，当真空度较低时，会有一定的热扩散。目前对载板的加热方式为在真空腔体周围布满加热器对腔室内整个载板及内嵌的基片进行非接触式加热，其热量传播方式主要为热辐射和热扩散。因此，现有的真空腔室热辐射加热方式存在加热效率低，加热温度及均匀性不好控制。基片上各个区域的温度不同会对镀膜质量造成一定的影响。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种载板、载板加热装置及半导体设备。为实现本专利技术的目的而提供一种载板加热装置，包括至少一个加热单元，所述加热单元包括：支撑机构；固定轴，设置在所述支撑机构上，所述固定轴的轴向与载板的移动方向相互垂直；滚轮，套设在所述固定轴上，载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载板加热装置，其特征在于，包括至少一个加热单元，所述加热单元包括：/n支撑机构；/n固定轴，设置在所述支撑机构上，所述固定轴的轴向与载板的移动方向相互垂直；/n滚轮，套设在所述固定轴上，载板传输装置带动所述载板相对所述滚轮移动时，所述载板与所述滚轮相接触且所述滚轮相对所述固定轴转动，所述滚轮与电源连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种载板加热装置，其特征在于，包括至少一个加热单元，所述加热单元包括：
支撑机构；
固定轴，设置在所述支撑机构上，所述固定轴的轴向与载板的移动方向相互垂直；
滚轮，套设在所述固定轴上，载板传输装置带动所述载板相对所述滚轮移动时，所述载板与所述滚轮相接触且所述滚轮相对所述固定轴转动，所述滚轮与电源连接。


2.根据权利要求1任一项所述的载板加热装置，其特征在于，所述加热单元为两个，两个加热单元的滚轮的轴线相互平行，所述两个所述滚轮之间的最小距离小于等于载板的厚度。


3.根据权利要求2所述的载板加热装置，其特征在于，所述电源加载在两个所述加热单元上的电流的方向相反。


4.根据权利要求3所述的载板加热装置，其特征在于，所述电源加载在两个所述加热单元上的电流的方向相反，包括：
两个滚轮的轴向第一端分别连接所述电源的正极和负极，两个滚轮的轴向的第二端相互导电连接。


5.根据权利要求1所述的载板加热装置，其特征在于，所述支撑机构包括绝缘连接件和支架，所述绝缘连接件为绝缘材料，所述固定轴和所述滚轮为导电材...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11