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本发明提供一种载板、载板加热装置及半导体设备，该载板加热装置包括至少一个加热单元，所述加热单元包括：支撑机构；固定轴，设置在所述支撑机构上，所述固定轴的轴向与载板的移动方向相互垂直；滚轮，套设在所述固定轴上，载板传输装置带动所述载板相对所述...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。

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