一种晶圆检查机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆检查机，包括LP组件、机械手组件、预对准组件、宏观检测组件、晶背检查组件和自动跑位组件，该实用新型专利技术各部件同时适用8寸和12寸的晶圆，检查不同尺寸晶圆时不需要更换硬件，极大地节约了成本，通过LP组件进行识别统计之后利用机械手组件搬运到预对准组件进行预对准，然后将晶圆搬运到宏观检测组件进行宏观检测，之后晶背检查组件翻转晶圆进行检查，最后自动跑位组件将晶圆运送到显微镜下进行微观检查，检查包括形貌(包含图形和外观等)、缺陷(包含异物、缺失和划痕)和量测数据(包含CD关键尺寸、Overlay套刻尺寸和线路尺寸等)，有利于实现晶圆的自动检查，极大地提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检查机
本技术涉及晶圆检查
，具体为一种晶圆检查机。
技术介绍
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等。由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆容易受静电的影响，并且容易划伤，所以会有一定的不良率，所以有必要利用检查机检查出不良的产品，传统的晶圆检查机在检查过程中只能检查单一尺寸的晶圆，适用范围比较小，当需要检查不同尺寸的晶圆时，需要更换硬件，浪费时间效率低，一般的晶圆检查机大部分步骤还需要人工参与，不能实现自动化，效率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆检查机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆检查机，包括LP组件、机械手组件、预对准组件、宏观检测组件、晶背检查组件、自动跑位组件、第一壳体、传感器、第一固定板、盖板、送料臂、箱体、连接杆、机械臂、底座、安装板、第二固定板、第一通孔、第二壳体、承片台、第二通孔、第一支撑臂、第三壳体、支撑台、显示器、显微镜、固定块、第二支撑臂、顶盖、警报灯、观察窗、滑轨、滑块和侧门，所述支撑台顶部中心一侧与第三壳体底部固定连接，所述支撑台顶部中心与显微镜底部固定连接，所述显微镜一侧设置有显示器，所述显示器底部与支撑台顶部一侧固定连接，所述支撑台一侧与箱体一侧焊接，所述箱体位于支撑台一侧中上部与侧门通过铰链铰接，所述侧门上方设置有观察窗，所述观察窗与箱体中上部侧壁通过铰链铰接，所述箱体顶部与顶盖底部焊接，所述顶盖顶部一侧与警报灯底部通过螺栓固定连接，所述箱体内部中上部设置有安装板，所述安装板与箱体固定连接，所述箱体位于支撑台相邻一侧靠近顶部位置设置有LP组件，所述安装板顶部一侧与宏观检测组件底部通过螺栓固定连接，所述宏观检测组件一侧设置有晶背检查组件，所述安装板顶部另一侧与预对准组件底部通过螺栓固定连接，所述安装板顶部位于LP组件同侧与机械手组件底部固定连接，所述支撑台靠近顶部中心设置有自动跑位组件。进一步的，所述LP组件由第一壳体、传感器、第一固定板、盖板和送料臂组成，所述传感器底部与盖板顶部固定连接，所述盖板底部与第一壳体顶部固定连接，所述第一壳体一侧与箱体一侧固定连接，所述第一壳体一侧与送料臂一端固定连接，所述第一壳体下方设置有第一固定板，所述第一固定板与箱体一侧固定连接，所述第一固定板顶部设置有送料台，且送料台底部设置有伺服电机和丝杆。进一步的，所述机械手组件由连接杆、机械臂、底座和第二固定板组成，所述底座底部与安装板顶部通过螺栓固定连接，所述底座顶部两侧设置有轨道，所述第二固定板位于轨道上方，所述底座中心一侧设置有电机和丝杆，且丝杆上的螺母块顶端与第二固定板底部一侧固定连接，所述第二固定板顶部一侧设置有电机，电机输出端与机械臂底部一侧固定连接，所述机械臂底部另一侧与连接杆一端固定连接，所述连接杆另一端与载料盘通过螺栓固定连接。进一步的，所述预对准组件由第一通孔、第二壳体、承片台、第二通孔和第一支撑臂组成，所述第二壳体底部与安装板顶部通过螺栓固定连接，所述第二壳体顶部中心一侧设置有承片台，所述承片台顶部中心开设有若干第二通孔，所述承片台顶部中心一侧开设有若干第一通孔，所述第二壳体顶部中心另一侧靠近边角位置与第一支撑臂底部固定连接，所述第一支撑臂顶部中心一侧设置有感应器。进一步的，所述宏观检测组件由载料台、电机和转轴组成，载料台底部与转轴一端固定连接，且转轴另一端与电机输出端固定连接。进一步的，所述晶背检查组件由固定块和第二支撑臂组成，所述固定块底部与第二支撑臂顶部一侧固定连接，所述第二支撑臂另一侧与电机输出端固定连接，电机底部设置有活动板，且活动板底部与液压升缩杆输出端固定连接。进一步的，所述自动跑位组件由滑轨和滑块组成，所述显微镜下方设置有滑块，所述滑块位于滑轨上方，所述滑轨两端与支撑台内部顶部侧壁固定连接，所述滑块底部与螺母块顶部连接，且螺母块与丝杆螺旋连接，且丝杆一端与电机输出端固定连接。与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：1.该技术结构简单紧凑，各部件同时适用于8寸和12寸晶圆，实现了检查不同尺寸的晶圆，有利于提高装置的实用性，并且检查不同尺寸晶圆时不需要更换硬件，极大地节约了成本。2.该技术通过LP组件统计上料之后利用机械手组件搬运到预对准组件进行预对准，然后机械手将晶圆搬运到宏观检测组件进行宏观检测，之后晶背检查组件翻转晶圆进行晶背检查，之后自动跑位组件将晶圆运送到显微镜下进行仔细的检查，有利于实现晶圆的自动检查，极大地提高了工作效率，有利于降低人工成本。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术的整体结构俯视图；图2是本技术的整体结构立体示意图；图3是本技术的图1中A区域局部放大图；图4是本技术的图1中B区域局部放大图；图5是本技术的图1中C区域局部放大图；图中：1、LP组件；2、机械手组件；3、预对准组件；4、宏观检测组件；5、晶背检查组件；6、自动跑位组件；7、第一壳体；8、传感器；9、第一固定板；10、盖板；11、送料臂；12、箱体；13、连接杆；14、机械臂；15、底座；16、安装板；17、第二固定板；18、第一通孔；19、第二壳体；20、承片台；21、第二通孔；22、第一支撑臂；23、第三壳体；24、支撑台；25、显示器；26、显微镜；27、固定块；28、第二支撑臂；29、顶盖；30、警报灯；31、观察窗；32、滑轨；33、滑块；34、侧门。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供一种技术方案：一种晶圆检查机，包括LP组件1、机械手组件2、预对准组件3、宏观检测组件4、晶背检查组件5、自动跑位组件6、第一壳体7、传感器8、第一固定板9、盖板10、送料臂11、箱体12、连接杆13、机械臂14、底座15、安装板16、第二固定板17、第一通孔18、第二壳体19、承片台20、第二通孔21、第一支撑臂22、第三壳体23、支撑台24、显示器25、显微镜26、固定块27、第二支撑臂28、顶盖29、警报灯30、观察窗31、滑轨32、滑块33和侧门34，支撑台24顶部中心一侧与第三壳体23底部固定连接，支撑台24顶部中心与显微镜26底部固定连接，显微镜26一侧设置有显示器25本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆检查机，包括LP组件(1)、机械手组件(2)、预对准组件(3)、宏观检测组件(4)、晶背检查组件(5)、自动跑位组件(6)、第一壳体(7)、传感器(8)、第一固定板(9)、盖板(10)、送料臂(11)、箱体(12)、连接杆(13)、机械臂(14)、底座(15)、安装板(16)、第二固定板(17)、第一通孔(18)、第二壳体(19)、承片台(20)、第二通孔(21)、第一支撑臂(22)、第三壳体(23)、支撑台(24)、显示器(25)、显微镜(26)、固定块(27)、第二支撑臂(28)、顶盖(29)、警报灯(30)、观察窗(31)、滑轨(32)、滑块(33)和侧门(34)，其特征在于：所述支撑台(24)顶部中心一侧与第三壳体(23)底部固定连接，所述支撑台(24)顶部中心与显微镜(26)底部固定连接，所述显微镜(26)一侧设置有显示器(25)，所述显示器(25)底部与支撑台(24)顶部一侧固定连接，所述支撑台(24)一侧与箱体(12)一侧焊接，所述箱体(12)位于支撑台(24)一侧中上部与侧门(34)通过铰链铰接，所述侧门(34)上方设置有观察窗(31)，所述观察窗(31)与箱体(12)中上部侧壁通过铰链铰接，所述箱体(12)顶部与顶盖(29)底部焊接，所述顶盖(29)顶部一侧与警报灯(30)底部通过螺栓固定连接，所述箱体(12)内部中上部设置有安装板(16)，所述安装板(16)与箱体(12)固定连接，所述箱体(12)位于支撑台(24)相邻一侧靠近顶部位置设置有LP组件(1)，所述安装板(16)顶部一侧与宏观检测组件(4)底部通过螺栓固定连接，所述宏观检测组件(4)一侧设置有晶背检查组件(5)，所述安装板(16)顶部另一侧与预对准组件(3)底部通过螺栓固定连接，所述安装板(16)顶部位于LP组件(1)同侧与机械手组件(2)底部固定连接，所述支撑台(24)靠近顶部中心设置有自动跑位组件(6)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检查机，包括LP组件(1)、机械手组件(2)、预对准组件(3)、宏观检测组件(4)、晶背检查组件(5)、自动跑位组件(6)、第一壳体(7)、传感器(8)、第一固定板(9)、盖板(10)、送料臂(11)、箱体(12)、连接杆(13)、机械臂(14)、底座(15)、安装板(16)、第二固定板(17)、第一通孔(18)、第二壳体(19)、承片台(20)、第二通孔(21)、第一支撑臂(22)、第三壳体(23)、支撑台(24)、显示器(25)、显微镜(26)、固定块(27)、第二支撑臂(28)、顶盖(29)、警报灯(30)、观察窗(31)、滑轨(32)、滑块(33)和侧门(34)，其特征在于：所述支撑台(24)顶部中心一侧与第三壳体(23)底部固定连接，所述支撑台(24)顶部中心与显微镜(26)底部固定连接，所述显微镜(26)一侧设置有显示器(25)，所述显示器(25)底部与支撑台(24)顶部一侧固定连接，所述支撑台(24)一侧与箱体(12)一侧焊接，所述箱体(12)位于支撑台(24)一侧中上部与侧门(34)通过铰链铰接，所述侧门(34)上方设置有观察窗(31)，所述观察窗(31)与箱体(12)中上部侧壁通过铰链铰接，所述箱体(12)顶部与顶盖(29)底部焊接，所述顶盖(29)顶部一侧与警报灯(30)底部通过螺栓固定连接，所述箱体(12)内部中上部设置有安装板(16)，所述安装板(16)与箱体(12)固定连接，所述箱体(12)位于支撑台(24)相邻一侧靠近顶部位置设置有LP组件(1)，所述安装板(16)顶部一侧与宏观检测组件(4)底部通过螺栓固定连接，所述宏观检测组件(4)一侧设置有晶背检查组件(5)，所述安装板(16)顶部另一侧与预对准组件(3)底部通过螺栓固定连接，所述安装板(16)顶部位于LP组件(1)同侧与机械手组件(2)底部固定连接，所述支撑台(24)靠近顶部中心设置有自动跑位组件(6)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述LP组件(1)由第一壳体(7)、传感器(8)、第一固定板(9)、盖板(10)和送料臂(11)组成，所述传感器(8)底部与盖板(10)顶部固定连接，所述盖板(10)底部与第一壳体(7)顶部固定连接，所述第一壳体(7)一侧与箱体(12)一侧固定连接，所述第一壳体(7)一侧与送料臂(11)一端固定连接，所述第一壳体(7)下方设置有第一固定板(9)，所述第一固定板(9)与箱体(12)一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴昌浩，李涛，王广禄，陈曦，柯华榕，
申请(专利权)人：憬承光电科技厦门有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35