一种适用于离心甩干的硅片装载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于离心甩干的硅片装载装置，包括：篮筐、盖板、夹板和限位板；篮筐包括两个相对设置的固定板，固定板之间通过连接板连接，两个固定板上相对设置有固定槽；盖板设置在固定板的上方，盖板与固定板铰连接；夹板设置在盖板面向篮筐的一面，夹板内设置有凹槽，凹槽的位置与固定槽的位置相适配；限位板设置在篮筐的底部。通过上述方式，本实用新型专利技术能够能够有效避免硅片与篮筐之间摩擦而导致脱膜，能够避免硅片与清洗机机台内的定位柱接触碰撞而导致硅片碎片，减少硅片的损坏，有效保证硅片质量。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于离心甩干的硅片装载装置
本技术涉及硅片清洗
，特别是涉及一种适用于离心甩干的硅片装载装置。
技术介绍
光学行业中，硅片在加工过程中需要经过多种工艺步骤，在不同工艺步骤的切换过程中需要对硅片进行清洗。硅片的清洗一般是利用清洗机进行，硅片清洗工艺往往是通过清洗载具装载硅片，再直接将清洗载具放置到清洗机内。放置在清洗机内装载着硅片的清洗载具会跟随着清洗机旋转，在旋转过程中由于离心作用，传统的清洗载具容易导致硅片与清洗机机台内的定位柱接触碰撞，且清洗结束后硅片无法及时归位，在取出清洗载具时容易挤压硅片导致硅片碎片，影响硅片质量，甚至造成硅片损坏。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种适用于离心甩干的硅片装载装置，能够有效避免硅片与篮筐之间摩擦而导致脱膜，避免硅片与清洗机机台内的定位柱接触碰撞而导致硅片碎片，减少硅片的损坏，有效保证硅片质量。为达到上述目的，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种适用于离心甩干的硅片装载装置，包括：篮筐、盖板、夹板和限位板；所述篮筐包括两个相对设置的固定板，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于离心甩干的硅片装载装置，其特征在于，包括：篮筐、盖板、夹板和限位板；所述篮筐包括两个相对设置的固定板，所述固定板之间通过连接板连接，两个固定板上相对设置有固定槽；所述盖板设置在所述固定板的上方，所述盖板与固定板铰连接；所述夹板设置在所述盖板面向所述篮筐的一面，所述夹板内设置有凹槽，所述凹槽的位置与固定槽的位置相适配；所述限位板设置在所述篮筐的底部。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于离心甩干的硅片装载装置，其特征在于，包括：篮筐、盖板、夹板和限位板；所述篮筐包括两个相对设置的固定板，所述固定板之间通过连接板连接，两个固定板上相对设置有固定槽；所述盖板设置在所述固定板的上方，所述盖板与固定板铰连接；所述夹板设置在所述盖板面向所述篮筐的一面，所述夹板内设置有凹槽，所述凹槽的位置与固定槽的位置相适配；所述限位板设置在所述篮筐的底部。


2.根据权利要求1所述的一种适用于离心甩干的硅片装载装置，其特征在于：所述篮筐还包括支撑板，两个固定板通过所述支撑板连接。


3.根据权利要求1所述的一种适用于离心甩干的硅片装载装置，其特征在于：所述盖板上设置有溢流孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：王正兴，苏奎，
申请(专利权)人：苏州东辉光学有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32