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本实用新型公开了一种适用于离心甩干的硅片装载装置，包括：篮筐、盖板、夹板和限位板；篮筐包括两个相对设置的固定板，固定板之间通过连接板连接，两个固定板上相对设置有固定槽；盖板设置在固定板的上方，盖板与固定板铰连接；夹板设置在盖板面向篮筐的一面...
该专利属于苏州东辉光学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州东辉光学有限公司授权不得商用。

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