遮挡装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种遮挡装置，包括至少一个弹性遮挡板和调节组件，弹性遮挡板弹性方向一端固定，调节组件与弹性遮挡板弹性方向的另一端连接，调节组件用于调整弹性遮挡板的弹性状态，使弹性遮挡板处于不同程度遮挡靶材的溅射表面。本发明专利技术提供的遮挡装置能够在镀膜膜层时，在保证半导体加工设备达到启辉功率的同时，提高半导体加工设备的产能。

【技术实现步骤摘要】
遮挡装置
本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种遮挡装置。
技术介绍
目前，在砷化镓(GaAs)薄膜太阳能电池中，背金属(BacksideMetallization，BM)电极膜层结构是由多层金属层构成，其根据需求不同，往往各层金属层的厚度也不同，通常需要通过物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)方式生产制造。在国内外的同类PVD设备中，多采用磁控溅射的方式来实现背金属电极镀膜。PVD设备中，通常采用控制基片走速和溅射速度来控制溅射的金属层的厚度。基片走速降低将会影响设备的产能。因此，在基片走速一定情况下，多采用控制溅射速度达到控制金属层厚度的目的，即，通过控制溅射阴极电源功率调整溅射速率，从而控制金属层的厚度。但是，在实际生产过程中，溅射阴极电源功率不能无限制调低，最低功率应该高于溅射阴极的启辉功率，因此，在遇到某一金属层的厚度需求很薄时，溅射阴极功率无法再调低情况下，只能牺牲设备产能降低基片走速。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种遮挡装置，其特征在于，包括至少一个弹性遮挡板(11)和调节组件(4)，所述弹性遮挡板(11)弹性方向一端固定，所述调节组件(4)与所述弹性遮挡板(11)弹性方向的另一端连接，所述调节组件(4)用于调整弹性遮挡板(11)的弹性状态，使所述弹性遮挡板(11)处于不同程度遮挡靶材(2)的溅射表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种遮挡装置，其特征在于，包括至少一个弹性遮挡板(11)和调节组件(4)，所述弹性遮挡板(11)弹性方向一端固定，所述调节组件(4)与所述弹性遮挡板(11)弹性方向的另一端连接，所述调节组件(4)用于调整弹性遮挡板(11)的弹性状态，使所述弹性遮挡板(11)处于不同程度遮挡靶材(2)的溅射表面。


2.根据权利要求1所述的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡装置还包括两个连接板(5)，两个所述连接板(5)相对底板(3)平行设置，两个所述连接板(5)分别包括滑槽(51)，所述弹性遮挡板(11)弹性方向的两端设置在所述滑槽(51)内，且弹性方向的一端相对所述两个连接板(5)固定。


3.根据权利要求2所述的遮挡装置，其特征在于，所述弹性遮挡板(11)为波浪形结构，所述弹性遮挡板(11)的弹性方向为波浪延伸方向，所述遮挡装置还包括多个移动连接件(6)，每个所述弹性遮挡板(11)中至少一个波峰内设置了贯穿两个连接板(5)的移动连接件(6)。


4.根据权利要求2所述的遮挡装置，其特征在于，所述弹性遮挡板(11)包括两个，两个所述弹性遮挡板(11)为拉伸弹性的遮挡板，两个所述弹性遮挡板(11)远离另一个所述弹性遮挡板(11)的弹性方向相对所述连接板(5)固定。


5.根据权利要求4所述的遮挡装置，其特征在于，所述调节组件(4)包括卷轴(412)和调节绳(43)，所述卷轴(412)设置在所述底板(3)上，并能够相对于所述底板(3)转动，所述调节绳(43)绕所述两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏艳波，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11