一种磁控溅射真空镀膜机制造技术

本发明专利技术涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种磁控溅射真空镀膜机，包括箱体，所述箱体的上表面固定安装有箱盖，所述箱盖的顶部固定套装有抽真空管。该磁控溅射真空镀膜机，通过抽气管与凸管的配合，在阀门的控制作用下，能够对相对应的凸管进行抽气控制，有效的防止抽气功耗的浪费，在进行更换工件时，对哪一个料架进行抽出时，只需要打开相对应的阀门，就可以将吸力对应到凸管内，不需要将整个设备罩住进行抽气，保证抽气动能功耗保证在最小，降低建造成本，在更换完工件后，将工件推进的过程中，即可将携带的空气抽走，防止空气中携带的灰尘进入到箱体内，对工件镀膜造成影响，工件镀膜后达不到合格标准，保证工件的合格率。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射真空镀膜机
本专利技术涉及镀膜设备
，具体为一种磁控溅射真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类在较高真空下进行镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料称为靶材，两者都在真空腔内，磁控溅射镀膜是利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。现有的真空镀膜机在使用过程中，在申请号201810009708.1的专利中，解决了不同镀膜时间的工件不能够混合镀膜，但其真空腔内工件镀膜完成后，更换下一个工件时，会在取出工件的通道处，向真空腔内进入空气，进入的空气会携带沙子等赃物，从而造成真空腔内的其余工件镀膜后合格率差，且夹板夹持工件滑动到真空腔内，滑动是沿着滑架滑动的，滑架在真空腔内，同样会被镀膜，在长时间镀膜后，滑架表面膜变厚，夹板滑动变困难，同时固定在真空腔内的滑架会导致工人对真空腔清洗困难。
技术实现思路
本专利技术提供了一种磁控溅射真空镀膜机，具备工件镀膜效果好，滑动方便，设备清洗简单的优点，解决了提高工件镀膜合格率、清洗滑架本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射真空镀膜机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的上表面固定安装有箱盖(2)，所述箱盖(2)的顶部固定套装有抽真空管(3)，所述箱体(1)内腔的顶部固定安装有靶材(4)，所述箱体(1)内腔上部的一侧固定安装有电子喷头(5)，所述箱体(1)的外表面一体成型有凸管(6)，所述凸管(6)的内孔活动套装有滑柱(7)，所述滑柱(7)的外端活动安装有推杆(8)，所述滑柱(7)内腔表面固定安装有定子(9)，所述滑柱(7)的内腔且与定子(9)配合活动套装有转子(10)，所述转子(10)的中部固定安装有伸出的转杆(11)，所述转杆(11)的中部固定套装有导电套(12)，所述滑柱(7)的内表...

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射真空镀膜机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的上表面固定安装有箱盖(2)，所述箱盖(2)的顶部固定套装有抽真空管(3)，所述箱体(1)内腔的顶部固定安装有靶材(4)，所述箱体(1)内腔上部的一侧固定安装有电子喷头(5)，所述箱体(1)的外表面一体成型有凸管(6)，所述凸管(6)的内孔活动套装有滑柱(7)，所述滑柱(7)的外端活动安装有推杆(8)，所述滑柱(7)内腔表面固定安装有定子(9)，所述滑柱(7)的内腔且与定子(9)配合活动套装有转子(10)，所述转子(10)的中部固定安装有伸出的转杆(11)，所述转杆(11)的中部固定套装有导电套(12)，所述滑柱(7)的内表面且与导电套(12)配合固定安装有导线(13)，所述凸管(6)的内表面固定安装有导电片(14)，所述转杆(11)的一端固定安装有料架(15)，所述料架(15)的一端固定安装有密封板(16)，所述料架(15)的上表面固定安装有弹簧(17)，所述弹簧(17)的一端固定安装有夹板(18)，所述箱体(1)的外表面固定安装有抽气管(19)，所述抽气管(19)的侧面固定安装有阀门(20)，所述阀门(20)的侧面且与凸管(6)连通有连接管(21)，所述滑柱(7)的外表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎方建，
申请(专利权)人：黎方建，
类型：发明
国别省市：重庆;50