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一种磁控溅射真空镀膜机制造技术
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下载一种磁控溅射真空镀膜机的技术资料
文档序号:26841164
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本发明涉及镀膜设备技术领域,且公开了一种磁控溅射真空镀膜机,包括箱体,所述箱体的上表面固定安装有箱盖,所述箱盖的顶部固定套装有抽真空管。该磁控溅射真空镀膜机,通过抽气管与凸管的配合,在阀门的控制作用下,能够对相对应的凸管进行抽气控制,有效的...
该专利属于黎方建所有,仅供学习研究参考,未经过黎方建授权不得商用。
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