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本发明提供一种遮挡装置，包括至少一个弹性遮挡板和调节组件，弹性遮挡板弹性方向一端固定，调节组件与弹性遮挡板弹性方向的另一端连接，调节组件用于调整弹性遮挡板的弹性状态，使弹性遮挡板处于不同程度遮挡靶材的溅射表面。本发明提供的遮挡装置能够在镀膜...
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