光学调制器和显示设备制造技术

一种光学调制器，它包括： 输出效率控制装置，用来调制入射到其上的光的光量； 第一聚焦装置，用来把光聚焦到输出效率控制装置上；以及 第二聚焦装置，用来输出其光量已经输出效率控制装置调制的光， 其中第一和第二聚焦装置放置得面对着输出效率控制装置。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,投影式显示设备,红外传感器和非接触温度计的制作方法
本专利技术涉及一种，以及利用该的一种投影式显示设备、一种红外传感器和一种非接触温度计。
技术介绍
一种光学调制器调制入射光的强度，并把它输出。作为一种常规的例子，在由O.Solgaard等人所拥有和发表的美国专利NO.5,311,360和论文“Deformable Grating Qptical Modulator(变形光栅光学调制器)”(Optics Letters(美国光学快报)，Vo1.17，NO.9，1992年5月1日)中，描述了一种光学调制器。该光学调制器利用光的衍射效应表调制光强，具有小型化和可以用集成电路工艺批量生产的优点。图32(a)，是上述美国专利和文章中所描述的光学调制器的平面图，图32(b)是沿图32(a)中的K-K’线的截面图。该光学调制器含有一个硅基底1001、一个形成在硅基底1001周边区域上的氧化硅膜间隔层1002，以及一个介质层1003。介质层1003被成形成为许多小介质梁1004，这些介质梁1004以其两端由间隔层1002支撑的方式悬浮在空洞空间上。介质层1003由富硅的氮化硅组成，其剩余应力被本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：塩野照弘，上田路人，伊藤达男，横山和夫，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：