高精度金属扫描转镜的加工方法技术

本发明专利技术属于精密机械技术领域，涉及一种对金属扫描转镜加工方法的改进。已有技术先加工转镜的工作支撑面和基准面，后加工转镜光学反射面。本发明专利技术先加工转镜的光学反射面，后采用在自准直仪的监测下，用四维夹具夹持和调整，达到当加工好的转镜光学反射面相对塔差的误差Ａ′值比较大时，也能提高产品的成品率的目的。减少了对转镜工作支撑面和基准面及工装夹具精度要求过高的问题，提高了产品的成品率和加工效率，降低了成本。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于精密机械
，涉及一种对金属扫描转镜的加工方法的改进。已有技术的工艺方法是首先加工金属扫描转镜的工作支撑面和工作基准面，后加工金属扫描转镜的光学反射面。例如，当金属扫描转镜应用于扫描成像场合时，其主要技术指标为相邻面角误差允差小于10角秒；相对塔差允差A小于10角秒；转镜光学反射面对转镜回转轴的角度一致性允差B小于10角秒；转镜几何体与其工作回转轴的同轴度允差小于5微米等。利用已有技术方法，首先加工金属扫描转镜的工作支撑面(如轴承安装面)和工作基准面(端面)，再以工作支撑面或工作基准面为加工基准面，加工金属扫描转镜的光学反射面。利用这种方法制造金属扫描转镜时，金属扫描转镜的光学反射面加工完成，就产生相对塔差的误差A′(合格品A′应小于A)，则转镜光学反射面对转镜工作回转轴的角度一致性误差的允许范围为B′。B′≤B-A′。B′值往往非常小，要保证制造出转镜光学反射面对转镜工作回转轴的角度一致性误差B′在允差B范围内，必须使A′加工得较小，必须制造极高尺寸精度和形状精度的转镜坯，尤其对于批量生产，又要求制造出尺寸一致性极高的安装面，还必须制造极高精度的支撑工装夹具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度金属扫描转镜的加工方法，其加工步骤如下：（１）．首先制备转镜坯并进行热处理消除内应力；其特征在于：（２）．在切削机床上用分度盘和夹具夹持转镜坯并飞切转镜的光学反射面；（３）．在切削机床上用四维夹具夹持转镜体，再用自准直 仪监测飞切完的转镜各光学反射面相对切削机床回转轴线的角度的一致性Ｂ″，然后调整四维夹具使转镜的各光学反射面相对切削机床回转轴线的角度一致性Ｂ″小于Ｂ′角秒，使转镜几何体的同轴度小于设计指标；（４）．再用切削机床车削转镜的工作支撑面和工作 基准面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马文生，陈斌，张志，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]